ООО «ЭНЕРГОАВАНГАРД»
комплексное оснащение предприятий



+ 7 495 564-82-37

info@eav.su

Отправить запрос на оборудование

Оборудование оптимизации процессов напыления


Angstrom Engineering Inc. (Канада) - производит установки вакуумного напыления методом магнетронного напыления (sputter deposition), электронно-лучевого испарения (electron beam evaporation), ионного напыления (ion-assisted deposition), резистивного термического испарения (resistive thermal evaporation) и оборудование эмуляции космического пространства.
Angstrom Engineering Inc. (Канада) - стремительно развивающаяся и одна из самых быстро растущих технологических компаний Канады. Компания основанная в 1992 году на сегодняшний момент является глобальным мировым игроком на рынке вакуумного технологического и исследовательского оборудования. Сегодня компания предлагает оборудования для различных процессов вакуумного нанесения пленок, таких как магнетронное напыление (sputter deposition), электронно-лучевое испарение (electron beam evaporation), ионное напыление (ion-assisted deposition), резистивное термическое испарение (resistive thermal evaporation), а также оборудование для эмуляции космического пространства.

Substrate Temperature Control
Контроль температуры подложки
Улучшение миграции границ зерен, пост процессный отжиг и контроль реакций на поверхности – это набор применений для функции контроля температуры подложки. Для различных применений нагрева или охлаждения компания имеет несколько стандартных опций. Также возможны решения по индивидуальному запросу заказчика для ваших подложек и температурного диапазона.

Biasing
Напряжение смещения
Если Вы следите за контролем плотности пленки или улучшением адгезии, напряжение смещения может быть решением в этом случае. Angstrom Engineering может конфигурировать вашу платформу включив DC или RF смещение.

Planetary Motion
Планетарный механизм
Наша платформа с планетарным механизмом позволяет улучшать однородность пленок на большой количестве подложек. Обычно предустановленные на наших машинах линейки Åmod и EvoVac планетарные механизмы могут существенно увеличить производительность системы.

Substrate Cleaning
Очистка подложек
In-situ очистка с помощью ионного пучка или тлеющего разряда гарантирует подготовку подложек к осаждению качественных слоев. Для снятия собственных оксидов Angstrom Engineering предлагает устанавливать на Вашу систему опцию предварительной очистки.

Опции оборудования (изображения):
angstromprocess-1.jpg angstromprocess-2.jpg

angstromsputter-3.jpg angstromprocess-4.jpg

angstromprocess-5.jpg angstromprocess-6.jpg


X
Запрос на оборудование
Заказать интересующее вас оборудование вы можете с помощью приведенной ниже формы.Специалисты ООО «ЭНЕРГОАВАНГАРД» свяжутся с вами в ближайшее время для уточнения вашего заказа и проконсультируют по всем интересующим вопросам.
ФИО *
Телефон *
Организация *
Какая продукция интересует?
Электронный адрес
Текст сообщения: *
Пройдите проверку:*