ООО «ЭНЕРГОАВАНГАРД»
комплексное оснащение предприятий



+ 7 495 564-82-37

info@eav.su

Отправить запрос на оборудование

УСТАНОВКА ВАКУУМНАЯ S-EBV TEC


  • Установка предназначена для нанесения покрытия на оптические поверхности методом резистивного и электронно-лучевого испарения диэлектриков, полупроводников и металлов с одновременным контролем толщины покрытия.
  • Установка обеспечивает возможность нанесения многослойных ахроматических покрытий на оптических деталях, а также металлических, однослойных просветляющих, интерференционных зеркальных, фильтрующих и других для различных областей спектра.
  • Установка состоит из: рабочей камеры, откачного поста на базе ТМН, форвакуумного агрегата, электрооборудования для питания и управления вакуумной системой и технологическими системами.

Технические характеристики


Технические характеристики
1
Давление в камере, мм.рт.ст.
5×10-6
2
Время достижения вакуума, мин,
<20
3
Температура нагрева в камере, °С
100…320
4
Количество резистивных испарителей, шт.
2
5
Количество электронно-лучевых испарителей, шт.
1
6
Количество держателей подложек, шт.
4
7
Максимальный размер подложек, мм
50 × 50
8
Напряжение плазменной очистки, кВ
7
9
Ток резистивных испарителей, А, при 24 В
150
10
Ток электронно-лучевого испарителя, мА
500
11
Мощность, потребляемая установкой, кВт
20
12
Система управления
Промышленный компьютер






X
Запрос на оборудование
Заказать интересующее вас оборудование вы можете с помощью приведенной ниже формы.Специалисты ООО «ЭНЕРГОАВАНГАРД» свяжутся с вами в ближайшее время для уточнения вашего заказа и проконсультируют по всем интересующим вопросам.
ФИО *
Телефон *
Организация *
Какая продукция интересует?
Электронный адрес
Текст сообщения: *
Пройдите проверку:*