ООО «ЭНЕРГОАВАНГАРД»
комплексное оснащение предприятий

+ 7 495 564-82-37

info@eav.su
Отправить запрос на оборудование

Cтанки двухсторонней шлифовки и полировки пластин AC microLine


LAPMASTER WOLTERS (бывшая Peter Wolters GmbH (Германия)) - производит и предлагает самый широкий диапазон станков для высокоточной обработки материалов шлифованием и полированием как для машиностроения так и для полупроводниковой промышленности (шлифование и полирование пластин)

Являясь дистрибьютором фирмы LAPMASTER WOLTERS (Peter Wolters GmbH) компания предлагает широкий ряд станков от однодисковых и двухдисковых машин для высокоточного шлифования и полирования плоских поверхностей (пластин) с одной и двух сторон для мелкосерийного производства до сложных комплексных решений для задач обработки поверхностей пластин (шлифование и полирования) в крупносерийной производстве полупроводников.

AC microLine


AC microLine - cерия станков AC470-AC2000 высокоточной двухсторонней шлифовки и полировки пластин (double sided machine):

Высокопроизводительные станки двухсторонней шлифовки и полировки (double wheel machines или double sided machines) серии AC microLine имеют прогрессивный дизайн и конструктив. Модульная система основных компонентов совместно с точностью управления, измерительными инструментами и технологиями показывают высочайшую надежность и воспроизводимость процессов обработки и делают системы удобными в работе. Станки и системы имеют звукопоглощающую обшивку и защиту области обработки, дающую прекрасную доступность и превосходную безопасность при работе. Для автоматической загрузки и выгрузки деталей (пластин) верхний диск выполнен как поворотно-откидной.
На станках серии AC microLine можно обрабатывать образцы различной формы, т.е. круглые (например п/п пластины, стеклянные пластины и др.), прямоугольные или нестандартной формы и обрабатывать как всю поверхность образца так и отдельный сегмент или участок поверхности. В зависимости от геометрии образца возможно достичь допусков в микрометры и даже ниже (субмикронные допуска при обработке пластин).
Станки серии AC microLine являются идеальным решением для обработки тонких и хрупких образцов, таких как стекло, полупроводниковые пластины: кремниевые пластины, пластины из структур A3B5 (GaAs, GaN и др.),пластины из сапфира, керамики и др. Метод и процесс обработки прост, гибок и производителен. В процессе обработки (шлифовки или полировки) образцы легко закрепляются в держателях образцов (workpiece carriers) и поэтому свободны от внутренних напряжений, что позволяет обрабатывать столь хрупкие образцы как полупроводниковые пластины. Надежность, безотказность, низкая стоимость использования станка, множество возможностей для применения и автоматизации станка и процессов обработки делают станки серии идеальным решением для двухсторонней шлифовки и является главными особенностями всех систем Peter Wolters.

Общая функциональная схема станков серии AC microLine:

peterwoltersac_functionaldrawing.jpg

Линейка станков AC microLine:

AC 470-F / L / P
AC 530-F / L / P
AC 640-F
AC 700-F / L / P
AC 1000-F
AC 1200-F / L / P
AC 1500-L / P
AC 2000-L / P

Производительность станков серии AC microLine:

Peter wolters_Wafer per load_new.jpg

Брошюра - AC microLine - станки двухсторонней шлифовки и полировки пластин (1,1 MB)...

Технические характеристики станков AC microLine:

Модель AC 470 AC 530
Версия F L.P F L.P
Диаметр диска, мм 445/475 445 / 475 534 / 562 534 / 562
Ширина диска, мм 120 / 150 120 / 150 150 / 180 150 / 180
Максимальное давление, daN 250 250 500 / 800 500
Мощность привода верхнего шлифовального диска, кВт. 3,0 2,0 10,0 3,0
Скорость вращения верхнего шлифовального диска, об/мин 50-275 20-100 175 / 350 100
Мощность привода нижнего шлифовального диска, кВт. 3,0 2,0 10,0 3,0
Скорость вращения нижнего шлифовального диска, об/мин 50-275 20-100 175 / 350 100
Мощность привода внутреннего зубчатого колеса, кВт. 1,4 1,4 1,3 1,3
Скорость вращения внутреннего зубчатого колеса, об/мин 20-70 20-70 100 100
Охлаждение шлифовального диска Опция Лабиринтная (сложная) система охлаждения, замкнутый контур
Управление ручное ручное Siemens
Пульт оператора ручное ручное Siemens. 10.4“
Размеры (ВхШхГ), мм 1980 x 1750 x 1300 1900 x 1900 x 1700
Вес, кг. 800 1700
Максимальная высота образцов, мм 30 50

Модель AC 640 AC 700 AC 1000
Версия F F L.P F
Диаметр диска, мм 640 445 / 475 534 / 562 534 / 562
Ширина диска, мм 180 120 / 150 150 / 180 150 / 180
Максимальное давление,daN 500 250 500 / 800 500
Мощность привода верхнего шлифовального диска, кВт. 7,4 2,0 10,0 3,0
Скорость вращения верхнего шлифовального диска, об/мин 175 20-100 175 / 350 100
Мощность привода нижнего шлифовального диска, кВт. 7,4 2,0 10,0 3,0
Скорость вращения нижнего шлифовального диска, об/мин 175 20-100 175 / 350 100
Мощность привода внутреннего зубчатого колеса, кВт. 1,7 1,4 1,3 1,3
Скорость вращения внутреннего зубчатого колеса, об/мин 80 20-70 100 100
Охлаждение шлифовального диска Охлаждающая матрица Лабиринтная (сложная) система охлаждения, замкнутый контур Лабиринтная (сложная) система охлаждения, замкнутый контур
Управление Siemens Siemens Siemens
Пульт оператора Siemens. 8“ Siemens. 12.4“
Размеры (ВхШхГ), мм 1900 x 1500 x 2200 2100 x 2800 x 2500 2350 x 3400 x 3280
Вес, кг. 2350 3900 8000
Максимальная высота образцов, мм 65 75 100


Характеристики станков AC 1200 - AC2000 в брошюре (1,1 MB)...

Для достижения более высокой производительности и точности обработки станки серии AC microLine могут быть оснащены различными системами автоматизации и загрузки образцов.

Подробнее можно ознакомиться с материалами в брошюре:
Loading systems and automation for AC systems (1,3 MB)...

Номенклатура продуктов Peter Wolters:
Брошюра Peter Wolters product range (1,8 MB)...

Похожая продукция


X
Запрос на оборудование
Заказать интересующее вас оборудование вы можете с помощью приведенной ниже формы.Специалисты ООО «ЭНЕРГОАВАНГАРД» свяжутся с вами в ближайшее время для уточнения вашего заказа и проконсультируют по всем интересующим вопросам.
ФИО *
Телефон *
Организация *
Какая продукция интересует?
Электронный адрес
Текст сообщения: *
Пройдите проверку:*