ООО «ЭНЕРГОАВАНГАРД»
комплексное оснащение предприятий

+ 7 495 564-82-37

info@eav.su
Отправить запрос на оборудование

Cтанки двухсторонней шлифовки и полировки пластин AC 1500-P3/AC 2000-P2


LAPMASTER WOLTERS (бывшая Peter Wolters GmbH (Германия)) - производит и предлагает самый широкий диапазон станков для высокоточной обработки материалов шлифованием и полированием как для машиностроения так и для полупроводниковой промышленности (шлифование и полирование пластин)

Являясь дистрибьютором фирмы LAPMASTER WOLTERS (Peter Wolters GmbH) компания предлагает широкий ряд станков от однодисковых и двухдисковых машин для высокоточного шлифования и полирования плоских поверхностей (пластин) с одной и двух сторон для мелкосерийного производства до сложных комплексных решений для задач обработки поверхностей пластин (шлифование и полирования) в крупносерийной производстве полупроводников.

Полировка полупроводниковых пластин AC 1500-P3 / AC 2000-P2


AC 1500-P3 / AC 2000-P2 - новое поколение в технологии высокоточной двухсторонней шлифовки и полировки пластин (double sided machine - DSM):

Высокопроизводительные станки двухсторонней шлифовки и полировки (double wheel machines или double sided machines) серии AC microLine имеют прогрессивный дизайн и конструктив. Модульная система основных компонентов совместно с точностью управления, измерительными инструментами и технологиями показывают высочайшую надежность и воспроизводимость процессов обработки и делают системы удобными в работе. Станки и системы имеют звукопоглощающую обшивку и защиту области обработки, дающую прекрасную доступность и превосходную безопасность при работе. Для автоматической загрузки и выгрузки деталей (пластин) верхний диск выполнен как поворотно-откидной.

Новые станки из серии AC microLine AC 1500-P3 и AC 2000-P2 от Peter Wolters устанавливаю новые стандарты в полировке полупроводниковых пластин. Основы станка AC 2000-P2 базируются на более 4-х десятилетнем опыте в разработке станков для шлифовки и полировки пластин. Станки AC 1500-P3 и AC 2000-P2 от Peter Wolters стали на сегодняшний день мировым стандартом в двухсторонней обработке пластин диаметром 200 и 300 мм.

Общая функциональная схема станков серии AC microLine:

peterwoltersac_functionaldrawing.jpg

Технические характеристики станка AC 2000-P2:

Модель
AC 2000-P2
Диаметр диска, мм
1935
Ширина диска, мм
689
Максимальное давление, daN
3500
Мощность привода верхнего / нижнего шлифовального диска, кВт.
46
Скорость вращения верхнего / нижнегошлифовального диска, об/мин
40
Мощность привода внутреннего зубчатого колеса, кВт.
7,5
Скорость вращения внутреннего зубчатого колеса, об/мин
50
Размеры (ВхШхГ), мм
2900 x 3900 x 4200
Вес, кг.
19000
Загрузка:
 
300 мм (12") пластины, шт.
15
200 мм (8") пластин, шт.
30
Получаемые результаты на 300 мм пластине
 
TTV
<0,4 мкм.
SFQR
< 0,03 мкм
Covered Design Rule
<90 нм.

Брошюра - AC microLine AC 2000-P2 (1,5 MB)...

Для достижения более высокой производительности и точности обработки станки серии AC microLine могут быть оснащены различными системами автоматизации и загрузки образцов.
Подробнее можно ознакомиться с материалами в брошюре:
Loading systems and automation for AC systems (1,58 MB)...

Номенклатура продуктов Peter Wolters:
Брошюра Peter Wolters product range (1,8 MB)...

Похожая продукция


X
Запрос на оборудование
Заказать интересующее вас оборудование вы можете с помощью приведенной ниже формы.Специалисты ООО «ЭНЕРГОАВАНГАРД» свяжутся с вами в ближайшее время для уточнения вашего заказа и проконсультируют по всем интересующим вопросам.
ФИО *
Телефон *
Организация *
Какая продукция интересует?
Электронный адрес
Текст сообщения: *
Пройдите проверку:*