ООО «ЭНЕРГОАВАНГАРД»
комплексное оснащение предприятий

+ 7 495 564-82-37

info@eav.su
Отправить запрос на оборудование

JEOL JIB-4500 - двухлучевая (ионно-электронная) система с термоэмиссионным источником электронов LaB6


снято с производства
JEOL JIB-4500 Multibeam - бюджетная двухлучевая (ионно-электронная) система с автоэмиссионным LaB6 источником электронов и ионной пушкой для микротравления производства компании JEOL (Япония)
JEOL Ltd. - мировой лидер в производстве и разработке сканирующих (растровых) электронных микроскопов (РЭМ), просвечивающих электронных микроскопов (ПЭМ), анализаторов поверхности (ОЖЕ микроанализаторы, фотоэлектронные спектрометры, электронно-зондовые микроанализаторы EPMA), системы с фокусированным ионным пучком, масс-спектрометров, спектрометров ядерного магнитного резонанса (ЯМР) и систем электронно-лучевой литографии для производства полупроводниковых приборов.

JEOL JIB-4500 MultiBeam – это недорогой в обслуживании высокопроизводительный растровый электронный микроскоп (РЭМ) с катодом из гексаборида лантана + высокопроизводительная приставка со сфокусированным ионным пучком (Focused ion beam).

Прибор оснащен высокочувствительными детекторами, которые могут работать одновременно в режиме реального времени.

В JIB-4500 реализована запатентованная технология резки и трехмерной реконструкции S3 TM, которая позволяет формировать различные объемные структуры.

Прибор может оснащаться инжекторами для напыления чувствительных и проводящих образцов углеродом или вольфрамом.

Также, непосредственно в камеру образцов данного прибора возможна установка наноманипуляторов серии Omniprobe, которые позволяют производить различные механические манипуляции с модифицируемыми объектами.

Основные технические характеристики JEOL JIB-4600F:


СФОКУСИРОВАННЫЙ ИОННЫЙ ПУЧОК (СИП) ДЛЯ МИКРОТРАВЛЕНИЯ
Источник ионов Ga-источник, 5 – 30 кВ, 30 нА (на 30 кВ)
Разрешение 5 нм (при 30 кВ)
Максимальный ток ионов 30 нA (при 30 кВ)
Увеличение x30, х100 – x300,000
РАСТРОВЫЙ ЭЛЕКТРОННЫЙ МИКРОСКОП (РЭМ)
Источник электронов LaB6, 0.3 – 30 кВ, 1 мкА
Увеличение x5 – x1,000,000
Разрешение 2.5 нм (30 кВ)
Столик образцов гониометрический (X: 76 мм, Y: 76 мм, Z: 5-48 мм)


jeolmultibeam (1).jpg



Система фигурного ионного травления
Позволяет проводить фигурное напыление и травление в соответствие с данными бинарного изображения, записанными в виде BMP-файла.
Поддерживает режим трехмерного нанотравления с непрерывным доступом к многочисленным данным, записанных в виде файлов изображений

Стандартная шлюзовая система для быстрой и простой загрузки образцов в камеру образцов без нарушения вакуума
Обеспечивает быструю загрузку образцов через шлюз Максимальный размер загружаемого через шлюз образца: пластина диаметром 150 мм

Контроль травления в реальном времени
Получение изображения в РЭМ одновременно с процессом ионного травления. ;

Полный набор портов для установки всех видов приставок
Большой столик позволяет проводить травление образцов диаметров до 76 мм

Выполнение серии последовательных тонких срезов и реконструкция трехмерного изображения
Наблюдение за последовательно выполняемыми тонкими срезами

Вспомогательная телекамера для наблюдения за камерой образцов для уточнения перемещений образца
Эффективна для уточнения взаиморасположения образца по отношению к различным частям камеры образцов, включая систему инжекции газа.

Дружественный, простой в понимании компьютерный интерфейс пользователя
Современный, четко читаемый Графический интерфейс пользователяя
Визуальное интуитивное управления от настройки рабочих условий РЭМ/ФИТ до проведения процесса травления и наблюдения за конечным результатом обработки


Аналитические приставки и опции:


- система энергодисперсионного микроанализа
- система анализа дифракции отражённых электронов
- система спектрального анализа катодолюминесценции
- детектор прошедших электронов
- ИК камера для обзора образцов
- система нагнетания газа (GIS) x3
- Наноманипулятор (система)
- Детектирование зондового тока
- Азотная ловушка
- система запирания пучка (Beam blanking device)
- программное обеспечение для трехмерной реконструкции

Похожая продукция


X
Запрос на оборудование
Заказать интересующее вас оборудование вы можете с помощью приведенной ниже формы.Специалисты ООО «ЭНЕРГОАВАНГАРД» свяжутся с вами в ближайшее время для уточнения вашего заказа и проконсультируют по всем интересующим вопросам.
ФИО *
Телефон *
Организация *
Какая продукция интересует?
Электронный адрес
Текст сообщения: *
Пройдите проверку:*