ООО «ЭНЕРГОАВАНГАРД»
комплексное оснащение предприятий

+ 7 495 564-82-37

info@eav.su
Отправить запрос на оборудование

JEOL JEM-9320FIB - ионный микроскоп и система пробоподготовки


снято с производства
JEOL JEM-9320FIB - ионный микроскоп и система пробоподготовки производства компании JEOL (Япония)

JEOL Ltd. - мировой лидер в производстве и разработке сканирующих (растровых) электронных микроскопов (РЭМ), просвечивающих электронных микроскопов (ПЭМ), анализаторов поверхности (ОЖЕ микроанализаторы, фотоэлектронные спектрометры, электронно-зондовые микроанализаторы EPMA), системы с фокусированным ионным пучком, масс-спектрометров, спектрометров ядерного магнитного резонанса (ЯМР) и систем электронно-лучевой литографии для производства полупроводниковых приборов.


Система сфокусированного ионного пучка JEM-9320FIB предназначена для модификации образцов тонкосфокусированным пучком ионов галия. Пушка с источником из жидкого галия обеспечивает токи до 30 нА при малом диаметре зонда.

Пучок ионов фокусируется при помощи системы электростатических линз и сканирует поверхность образца, который, в свою очередь, испускает вторичные электроны, результатом детектирования которых являются изображения растровой ионной микроскопии (SIM).

При больших токах пучка JEM-9320FIB производит высокоскоростную точечную модификацию образца путем ионного травления. Вытравливаемая область может являться прямоугольником, линией или точкой.

Прибор может изготавливать тонкие образцы (из широкого класса материалов) для просвечивающих и растровых электронных микроскопов. Также он делает возможным получение поперечных срезов образцов РЭМ.

Основные технические характеристики JEM-9320FIB:


Источник ионов
Ga-источник, 5 – 30 кВ
Ускоряющее напряжение
5-30кВ (с шагом 5кВ)
Увеличение
х50 (в режиме обзора), х150 – x300,000
Разрешение
6 нм (при 30 кВ)
Максимальный ток пучка
30 нА (при ускоряющем напряжении 30 кВ)
Диафрагма
моторизованная, с 5 отверстиями
Столики образцов
1) боковой гониометрический для держателей ПЭМ;
2) для держателей РЭМ


Похожая продукция


X
Запрос на оборудование
Заказать интересующее вас оборудование вы можете с помощью приведенной ниже формы.Специалисты ООО «ЭНЕРГОАВАНГАРД» свяжутся с вами в ближайшее время для уточнения вашего заказа и проконсультируют по всем интересующим вопросам.
ФИО *
Телефон *
Организация *
Какая продукция интересует?
Электронный адрес
Текст сообщения: *
Пройдите проверку:*