ООО «ЭНЕРГОАВАНГАРД»
комплексное оснащение предприятий

Отправить запрос на оборудование
Заказать звонок

Система технического зрения NIKON NEXIV FOUP (NEXIV VMR-C4540)


NEXIV FOUP (NEXIV VMR-C4540) бесконтактная, полностью автоматизированная система для измерения кассет для полупроводниковых пластин

Обеспечивает измерение всех размеров, что необходимо для производства кассет для полупроводниковых пластин, включая контроль за деформацией, вызванной старением кассет.

Система NEXIV FOUP (NEXIV VMR-C4540), предназначенная для 300-мм кассет типа FOUP и FOSB, обнаруживает трудноразличимые кромки благодаря использованию различных характеристик освещения и уникальных технологий обработки изображений от Nikon. Путем внедрения системы Laser AF, обеспечивающей возможность быстрой, бесконтактной фокусировки, даже в случае прозрачных поверхностей и по периферии пластины, включая самые края, система VMR-C4540 может измерять размеры стандарта SEMI с очень высокой точностью.

Измерение четырех боковых сторон кассеты производится непрерывно путем вращения подвижного рабочего стола шагами в 90°

Подвижный рабочий стол, соответствующий стандарту SEMI, обеспечивает идеальные координаты X,Y,Z
Множество вариантов освещения облегчают точные измерения установочных отверстий и отверстий для Т-образных запорных элементов замков
Система Laser AF обеспечивает быстрое, бесконтактное измерение положений полупроводниковой пластины
Диодное освещение с широким полем и высокой интенсивностью обеспечивает точные измерения высоты пластин
Кассета для пластин 300 мм, 200 мм и основание контейнера для пластин со стандартным механическим интерфейсом (SMIF)
Категория: видеоизмерительные системы (системы технического зрения)
Применение: ананлиз поверхности,машиностроение.

Брошюра - система технического зрения сирии NEXIV VMR

Похожая продукция

Вы недавно смотрели: