ООО «ЭНЕРГОАВАНГАРД»
комплексное оснащение предприятий

+ 7 495 564-82-37

info@eav.su
Отправить запрос на оборудование

Напольная система LSC 4000




Применение LSC

  • очистка пластин или подложек с нанесенным
  • или не нанесенным структурными элементами
  • очистка разделенных пластин на подложке
  • очистка покрытия ITO дисплея
  • очистка заготовки фотошаблона со слоем фоторезиста
  • очистка фотошаблона с покрытием

Характеристики LSC

Вплоть до 21 дюйма круглой формы,
15”x15”дюймов подложки квадратной формы
большая камера искусственного климата
максимум с тремя рычагами для:
-ультразвука
-щетки
-горячей дианизованной воды, высокого давления DI или Piranha
ПК-контроля через программное обеспечение Lab View
совмещения с роботизированной загрузкой-выгрузкой (Robotic load unload)


Опции

  • фотошаблон или пластина
  • очистка щеткой
  • озонированная дианизованная вода (мг/м3)
  • горячая DI
  • высокое давление DI
  • гидрогенная DI
  • Piranha
  • автоматическая загрузка-выгрузка
  • HEPA мини-оборудование фильтрования

Дополнительные отдельно стоящие модули

  • модуль подачи химикатов
  • озоновый генератор
  • гидрированный генератор дианизованной воды
  • DI модуль высокого давления
  • модуль смешивания серной кислоты и перекиси водорода
  • роботизированный модуль загрузки-разгрузки

Брошюра - установки серии LSC 4000 на русском языке - 513 КБ...

Брошюра - установки серии LSC 4000 на английском языке - 251 КБ...

Брошюра - установки очистки на русском языке - 375 КБ...

Похожая продукция


X
Запрос на оборудование
Заказать интересующее вас оборудование вы можете с помощью приведенной ниже формы.Специалисты ООО «ЭНЕРГОАВАНГАРД» свяжутся с вами в ближайшее время для уточнения вашего заказа и проконсультируют по всем интересующим вопросам.
ФИО *
Телефон *
Организация *
Какая продукция интересует?
Электронный адрес
Текст сообщения: *
Пройдите проверку:*