ООО «ЭНЕРГОАВАНГАРД»
комплексное оснащение предприятий

+ 7 495 564-82-37

info@eav.su
Отправить запрос на оборудование

ICPECVD установка высокоскоростного плазмо-химического низкотемпературного осаждения высококачественных пленок (SiO2, Si3N4, SiOx, SiOxNy) в индуктивно связанной плазме:

ICPECVD осаждение SiO2, Si3N4, SiOx, SiNy, SiOxNy, a-Si

Вакуумный загрузочный шлюз

6 газовых линий

Обработка пластин диаметром до 200 мм

Температура подложки от КТ до 350 oC

Программное обеспечение SENTECH Software

Опции: LF генератор, OES, in-situ эллипсометр, лазерная интерферометрия

PECVD установка плазмо-химического осаждения диэлектриков с вакуумным загрузочным шлюзом:

PECVD осаждение SiO2, Si3N4, SiOx, SiNy, SiOxNy, a-Si

Вакуумный загрузочный шлюз

6 газовых линий

Обработка пластин диаметром до 200 мм

Температура подложки от КТ до 350 oC

Программное обеспечение SENTECH Software

Опции: LF генератор, OES, in-situ эллипсометр, лазерная интерферометрия, источники для осаждения TEOS и др. жидких прекурсоров

PECVD установка плазмо-химического осаждения диэлектриков без вакуумного загрузочного шлюза (open lid system)

PECVD осаждение SiO2, Si3N4, SiOx, SiNy, a-Si 6 газовых линий

Обработка пластин диаметром до 200 мм

Температура подложки до 400 oC

Сухая откачка

Программное обеспечение SENTECH Software

Опции: LF генератор, OES, in-situ эллипсометр

Установка реактивно-ионного травления (RIE) без вакуумного шлюза

Обработка пластин диаметром до 300 мм.

До 8 газовых линий

Программное обеспечение SENTECH Software

OES и лазерная эллипсометрия

Перед установкой нового газового баллона в линию с газораспределительным устройством системы газоснабжения необходимо удалить технологический газ, оставшийся от предшествующего газового баллона. Это делается как в целях безопасности, так и в целях обеспечения непрерывности подачи свежего газа. Остаточный газ может оказаться высококонцентрированным токсичным, самовоспламеняющимся или агрессивным газом, что представляет собой значительную угрозу безопасности.

Устройство CLEAN-PROTECT предназначено для поглощения токсичных или других опасных газов при аварийном выбросе газа. Данное предохранительное устройство обеспечивает защиту от неконтролируемого выброса токсичных, агрессивных или самовоспламеняющихся газов из одного или нескольких газораспределительных устройств системы газоснабжения, таким образом обеспечивая защиту производственных помещений и прилегающей к заводу местности.

Серия PRIMELINE представляет собой полнофункциональную модификацию семейства сухих скрубберов отработанных газов CLEANSORB. Данная система была специально сконструирована для работы с газовыми потоками и связанными с ними процессами в системах с повышенными требованиями к безопасности, в частности, с процессами химического осаждения из паровой фазы металлоорганических соединений (MOCVD).

FABLINE представляет собой стандартную модель CLEANSORB для удаления отходящих газов в масштабах всего предприятия. Доступная в трех размерах колонн, эта система легко адаптируется под требования как линий управления, так и полномасштабных производственных линий. Продукты CLEANSORB пользуются завидной репутацией за свою прочность и надежность даже в самых жестких технологических режимах, что подтверждено 25-летним опытом эксплуатации на нескольких тысячах производственных линий во всем мире. Продукты FABLINE изготавливаются из коррозионно-стойкой нержавеющей стали 316L и высококачественных надежных компонентов.

Серия CLEANSORB LABLINE отличается небольшими размерами абсорбционной колонны, установленной в компактном шкафе с возможностью удаления воздуха.
Возможность пассивного хемосорбирования опасных газов при температуре окружающей среды — дополнительное преимущество при нерегулярных лабораторных работах, так как система LABLINE всегда будет готова к работе, не требуя предварительного подогрева или иной активации при каждом новом эксперименте.

Автономные устройства CLEANSORB могут использоваться в небольших исследовательских лабораториях или с автономными абсорбционными колоннами для удаления оставшихся газов на выходе экспериментальных камер. В качестве дополнительного оборудования доступно несколько компонентов обеспечения безопасности, включая шкафы с возможностью удаления воздуха, а также устройства контроля давления и обнаружения отходящих газов.

Спектроскопические (спетральные) рефлектометры моделей RM 1000 и RM 2000 производства SENTECH Instruments GmbH (Германия) для исследований и производства. Применяются для измерения прозрачных, плохо абсорбирующих пленок на отражающих, прозрачных и абсорбирующих образцах спектроскопическим методом, основанном на преломлении белого света. Измерене показателя преломления и толщины пленок на различных типах поверхностей. В том числе рутинные измерения в изготовлении изделий микроэлектроники (измерения толщины резистов, окислов и т.п)

Спектральный диапазон:

RM 1000: 430-930 нм.

RM 2000: 200 - 1000 нм.

Высокопроизводительная автоматическая эллипсометрическая измерительная система SENDURO® на базе УФ-ВИД спектроскопического эллипсометра с возможностью сканирования производства SENTECH Instruments GmbH (Германия) для проведения измерений толщины и оптичеких показателей тонких пленок в производстве.

Спектральный диапазон: от 290 до 850 нм

Полностью автоматическое выравнивания образца нажатием одной кнопки

SpectraRay/3 программный пакет

Моторизованные столики для сканирования

Работа с пластинами до 200 мм и до 300 мм.

SENDIRА - высокопроизводительная FT-IR (ИК-Фурье) эллипсометерическая cистема производства SENTECH Instruments GmbH (Германия) со спектральным диапазоном 400 см-1 – 6000 см-1 (1666–25000 нм.) и управляемым компьютером моторизованным гониометром для проведения измерений толщины и оптичеких показателей тонких пленок в ИК спектре.

Спектральный диапазон: от 1666 до 25000 нм

ИК-фурье спектрометр в качестве источника света.

ACT (автоколлиматический телескоп) для выравнивания образца

SpectraRay/3 программный пакет

Большое количество опций

SENpro - бюджетный спектроскопический УФ-ВИД (UV-VIS) эллипсометр производства SENTECH Instruments GmbH (Германия) с возможностью проведения измерений пленок под различными углами разработан для высокоточного измерения толщины и оптических характеристик как однослойных пленок, так и многослойных пленочных структур (коэффициент преломления, показатель поглащения) на различных типах поверхностей. Измерение нанопленок.

Спектральный диапазон: 370 - 1050 нм.

SpectraRay/3 программный пакет

CER SE 500adv - уникальный комбинированный лазерный (сканирующий) эллипсометр-рефлектометр производства SENTECH Instruments GmbH (Германия) с возможностью проведения измерений пленок под различными углами разработан для высокоточного измерения толщины и оптических характеристик пленочных структур (коэффициент преломления, показатель поглащения) на различных типах поверхностей. Измерение нанопленок.

Длина волны эллипсометра - 632,8 нм

Диапазон длины волны рефлектометра - 450-920 нм.

Диапазон измерения толщины пленок с эллипсометром: 1 нм до 6000 нм.

Диапазон измерения толщины пленок с рефлектометром: 50 нм до 25000 нм.

SE 400adv - новейший лазерный (сканирующий) эллипсометр производства SENTECH Instruments GmbH (Германия) с возможностью проведения измерений пленок под различными углами разработан для высокоточного измерения толщины и оптических характеристик пленочных структур (коэффициент преломления, показатель поглащения) на различных типах поверхностей. Измерение нанопленок.

Длина волны - 632,8 нм

Диапазон измерения толщины пленк: 1 нм до 6000 нм.

Установка Zenith 100

Компактная система для высокотемпературных термических процессов (High Temperature RTP и CVD) для обработки пластин диаметром до 4 дюймов (100 мм)

Применение:

Постимплантационный отжиг SiC

Получение графена высокотемпературной сублимацией SiC

Получение рафена CVD методом

Температурный диапазон: от RT до 2000°C

Загрузка: ручная

Установка AS-Premium

Компактная система для быстрых термических процессов (RTP) для обработки пластин размером до 8х8 дюймов (200 х 200 мм).

Применение:

быстрый термический отжиг (RTA),

быстрое термическое окисление (RTO)

Диффузия

Селенизация, сульфурация

Отжиг полупроводников

Нитритизация, силицидирование

Кристализация и уплотнение

Температурный диапазон: от RT до 1300°C

Верхнее расположение ламп или двухсторонний отжиг с верхним и нижним расположением ламп

Загрузка: ручная

Установка AS-Master

Универсальная система для быстрых термических процессов (RTP) для обработки пластин диаметром до 8 дюймов (200 мм.) с возможностью проведения процессов RTCVD (опция).

Применение:

быстрый термический отжиг (RTA),

быстрое термическое окисление (RTO)

RTCVD

послеимплантационный отжиг и др.

Температурный диапазон: от RT до 1500°C (в зависимости от версии печи)

Загрузка: ручная (опция: загрузка из кассеты в кассету)

Установка AS-One

Система для быстрых термических процессов с холодными стенками в исполнении для пластин диаметром до 4 дюймов (100 мм) и до 6 дюймов (150 мм)

Применение:

быстрый термический отжиг (RTA),

быстрое термическое окисление (RTO)

послеимплантационный отжиг и др.

Температурный диапазон: от RT до 1500°C (в зависимости от версии печи)

Загрузка: ручная

Установка AS-Micro

Система для использования пластин диаметром до 3 дюймов для использования в лабораториях. Версия с двумя камерами для перекрестного загрязнения (cross contamination).

Применение:

быстрый термический отжиг (RTA),

быстрое термическое окисление (RTO)

послеимплантационный отжиг и др.

Температурный диапазон: от RT до 1250°C

Загрузка: ручная

Генератор атмосферной плазмы „plasma system PlasmaBeam“ рассчитан, главным образом, на локальную предварительную обработку (очистку, активацию) различных поверхностей:

полимерных

металлических

керамических

стеклянных

из комбинированных материалов

„Plasma system PlasmaBeam“ может устанавливаться в существующие автоматические производственные линии без больших затрат.

Применение: очистка, активация, травление, нанесение покрытий

Применение: очистка, активация, травление, нанесение покрытий

Применение: исследовательские работы, очистка, травление, оптика, лазерная техника


X
Запрос на оборудование
Заказать интересующее вас оборудование вы можете с помощью приведенной ниже формы.Специалисты ООО «ЭНЕРГОАВАНГАРД» свяжутся с вами в ближайшее время для уточнения вашего заказа и проконсультируют по всем интересующим вопросам.
ФИО *
Телефон *
Организация *
Какая продукция интересует?
Электронный адрес
Текст сообщения: *
Пройдите проверку:*