ООО «ЭНЕРГОАВАНГАРД»
комплексное оснащение предприятий

Отправить запрос на оборудование
Заказать звонок

Установка реактивно-ионного травления SI 591 (Compact)


Установка реактивно-ионного травления (RIE) с вакуумным шлюзом

  • Высокая однородность и прекрасная воспроизводимость процессов травления
  • Вакуумный загрузочный шлюз
  • Управление всеми процессами через компьютер
  • Программное обеспечение SENTECH Software
  • Установка через стену для чистых помещений
  • Определение окончания процесса (end-point detection)
  • Система травления SI 591 Compact производства SENTECH Instruments GmbH предназначена для использования в НИОКР для реализации процессов сухого плазменного травления. 
  • Cистема SI 591Compact успешно применяться для широкого спектра процессов, таких как травление III/V структур,диэлектриков (SiO2, Si3N4)кремния Si,  металлов (фторная/хлорная химия).
  • Система позволяет обрабатывать как пластины диаметром до 200 мм, так и кусочки.
  • Мощная двухступенчатая вакуумная система позволяет быстро откачивать камеру реактора и получать достаточно глубокий вакуум для проведения процессов травления.

Конфигурация системы:

  • ВЧ генератор 13,56 МГц, 600 Вт.
  • Душевая система распыления реакционных газов
  • Вакуумный загрузочный шлюз с подающей лопаткой
  • Изолированный, охлаждаемый электрод (-25ºC до 80ºC) для подложек диаметром 4-8 дюймов. Держатели для более маленьких образцов.
  • Контроль через компьютер (Windows XP)
  • Программное обеспечение SENTECH

Опции:


Добавочные газовые линии для коррозионных и не коррозионных газов
Термостат охладитель (5°С...40°С)
Кассетная станция (cassette to cassette)
Установка через стену (Through-the-wall installation)
Интерферометр (определение скорости травления, окончания процесса - endpoint detection)
Оптическая эмиссионная спектрометрия (NanoMES)
In-situ лазерная и спектроскопическая эллипсометрия (SE401, SE801)

Похожая продукция

Вы недавно смотрели: