ООО «ЭНЕРГОАВАНГАРД»
комплексное оснащение предприятий

Отправить запрос на оборудование
Заказать звонок

Установка реактивно-ионного травления SI 500 RIE


Установка реактивно-ионного травления (RIE) с гелиевым охлаждение обратной стороны подложки

  • Обработка пластин диаметром до 200 мм.
  • До 16 газовых линий
  • Хлорная и фторная химия
  • Программное обеспечение SENTECH Software
  • OES и лазерная эллипсометрия и лазерная интерферометрия

Похожая продукция

Вы недавно смотрели: