ООО «ЭНЕРГОАВАНГАРД»
комплексное оснащение предприятий

Отправить запрос на оборудование
Заказать звонок

Установка реактивно-ионного травления Etchlab 200 (RIE)


Бюджетная полностью с ручным управлением установки MDA-400LJ широко применяется для технологий изготовления MEMS, оптоэлектроники и др. В режиме контактного экспонирования система может достигнуть прецизионной точности разрешения в 1 мкм.

MDA-400LJ - это идеальный и экономичный вариант для использования в лаборатории для проведения НИОКР и для малых объемов производства. Обработка пластин до 100 мм.

Ручное совмещение и ручное экспонирование.

Особенности


  • рецизионная точность совмещения 1 мкм
  • Многофункциональный держатель для кусочков и пластин до 4’’ (100мм)
  • Специальные держатели подложек (кусочков по запросу)
  • Прецизионный столик для совмещения и микроскоп
  • УФ излучения для экспонирования с длиной волны 365 нм.
  • Антивибрационный стол (опция)
  • Эргономичный дизайн для удобного использования
  • Низкая стоимость/высокое качество

Характеристики


Лампы
UV-LED источник света с контролем интенсивности и мощности излучения с длиной волны 365 нм. (для i-line резистов)
Размер подложки
Кусочки, пластины до 4 дюймов, размер подложек 4х4 дюйма
Точность
1 микрон
Разрешение
1 микрон, при использовании тонкого фоторезиста на Si пластине с вакуумным контактом  (возможно 0,8 мкм)
Размер маски
До 5 х 5 дюймов
Оптическое зрение
Микроскоп двойного поля 1.4x~9x, двойной монитор
Размер однородного пучка
125 мм в диаметре

Похожая продукция

Вы недавно смотрели: