ООО «ЭНЕРГОАВАНГАРД»
комплексное оснащение предприятий

+ 7 495 564-82-37

info@eav.su
Отправить запрос на оборудование

Установки плазмо-химического осаждения диэлектриков SI 500 PPD


SI 500 PPD Parallel Plate PECVD Deposition System - установка плазмо-химического осаждения диэлектриков с параллельными пластинами (PECVD) производства SENTECH Instruments GmbH (Германия)

 
Превосходная однородность, прекрасная воспроизводимость при осаждении диэлектриков
  • Вакуумный загрузочный шлюз
  • Операции контролируются компьютером
  • Программное обеспечение SENTECH Software
  • Диаметр обрабатываемых пластин до 200мм.
  • Установка через стену (опция)
  • Кассетная станцияслоя)
  • Эллипсометр in-situ (определение толщины осаждаемого слоя)

Система плазмо-химического осаждения диэлектриков SI 500 PPD Parallel Plate PECVD Deposition System производства SENTECH Instruments GmbH предназначена для использования в НИОКР для реализации процессов плазмо-химического осаждения диэлектрических пленок (SiO2, Si3N4, SiOx, SiOxNy) на различные подложки.

Конфигурация системы:
Источник ВЧ смещения (13,56 МГц, 600 Вт.)
Душевая система распыления реакционных газов
6 газовых линий с датчиками массового расхода MFC  (SiH4, NH3, N2O, O2, Ar, CF4)
Высокопроизводительная вакуумная система с контролем давления независимого от натекания газа
Вакуумный загрузочный шлюз
Изолированный охлаждаемый или нагреваемый (20ºC up to 350ºC) электрод для работы с пластинами или держателями диаметром до 200 мм. (2, 3,4,6 дюймов, кусочки)
Динамический контроль температуры
Удаленный контроль
Управление под операционной системой Windows XP
Программное обеспечение SENTECH для управления процессами и всеми узлами системы

Похожая продукция


X
Запрос на оборудование
Заказать интересующее вас оборудование вы можете с помощью приведенной ниже формы.Специалисты ООО «ЭНЕРГОАВАНГАРД» свяжутся с вами в ближайшее время для уточнения вашего заказа и проконсультируют по всем интересующим вопросам.
ФИО *
Телефон *
Организация *
Какая продукция интересует?
Электронный адрес
Текст сообщения: *
Пройдите проверку:*