ООО «ЭНЕРГОАВАНГАРД»
комплексное оснащение предприятий

Отправить запрос на оборудование
Заказать звонок

Установка плазменной очистки Zepto (low cost system)


Применение: Исследовательские работы, очистка, активация, травление (мелкосерийные процессы)

Шкаф распределительного устройства: Ш 425мм, В 185мм, Г 450мм

Камера: Материал стекло, Ø 105 мм, Г 300 мм 
Объем камеры: ~ 2,6 литра 
Подвод газа: 2 регулятора расхода газа с игольчатыми клапанами
Генератор: 40 кГц /200 Вт или 13,56 мГц /50 Вт
Вакуумный насос: Всасывающий: 2 м³/час
Комплектация: Подложка для обрабатываемых образцов– 1 шт.
Управление: Ручное, время устанавливается таймером

Датчик давления: Pirani


Видеопрезентация установки Zepto



Похожая продукция

Вы недавно смотрели: