ООО «ЭНЕРГОАВАНГАРД»
комплексное оснащение предприятий

Отправить запрос на оборудование
Заказать звонок

Установка плазменной очистки Nano


Применение: очистка, активация, травление, нанесение покрытий

Камера: Ø 267мм, Г 420мм
Объем камеры: ~ 24 литра

Материалы камеры: Кварц или боросиликатное стекло. Передняя и задняя части камеры (фланцы) выполнены из алюминия или из нержавеющая сталь
Подвод газа: 1-2 регулятора расхода газа с игольчатыми клапанами или с электронной регулировкой (MFC) 
Генератор: 40 кГц / 300 Вт, 
(Опционально: 13,56 МГц или 2,45 ГГц)
Вакуумный насос: Leybold, тип D8B (8 м³/ч) или др.
Комплектация: Подложка для обрабатываемых образцов– 1 шт.  или лодочки
Управление: Ручное, время устанавливается таймером или
ПК управление работает с Windows

Датчик давления: Pirani


СКАЧАТЬ БРОШЮРУ NANO В PDF


Видеопрезентация установки Nano




Видеопрезентация фирмы Diener



Похожая продукция

Вы недавно смотрели: