ООО «ЭНЕРГОАВАНГАРД»
комплексное оснащение предприятий

Отправить запрос на оборудование
Заказать звонок

Установка плазменной очистки Femto


Применение: Исследовательские работы, очистка, активация, травление (мелкосерийные процессы)

Камера: Ø 100 мм, Г 270 мм  
Объем камеры: ~ 2 литра

Материалы камеры: Кварц или боросиликатное стекло. Передняя и задняя части камеры (фланцы) выполнены из алюминия или из нержавеющая сталь
Подвод газа: 1-3 канала подвода газа с игольчатыми клапанами или с электронной регулировкой (MFC) 
Генератор: 40kHz/0-100 W
(или: 13,56 МГц, или 2,45 ГГц)
Вакуумный насос: Leybold, тип S1.5 (1.5m/h) или др. 
Комплектация: Подложка для обрабатываемых образцов– 1 шт.  или лодочки
Управление: Ручное, время устанавливается таймером или

ПК управление работает с Windows 

Датчик давления: Pirani


СКАЧАТЬ БРОШЮРУ FEMTO В PDF


Видеопрезентация установки Femto




Видеопрезентация фирмы Diener



Похожая продукция

Вы недавно смотрели: