ООО «ЭНЕРГОАВАНГАРД»
комплексное оснащение предприятий

Отправить запрос на оборудование
Заказать звонок

Установка плазменной очистки ATTO (low cost system)


Применение: Исследовательские работы, очистка, активация, травление (мелкосерийные процессы)

Шкаф распределительного устройства: Ш 425мм, В 275мм, Г 450мм
Камера: Материал стекло, Ø 211 мм, Г 300 мм 
Объем камеры: ~ 10,5 литра 
Подвод газа: 2 регулятора расхода газа с игольчатыми клапанами
Генератор: 40 кГц /200 Вт или 13,56 мГц /50 Вт
Вакуумный насос: Всасывающий: 2 м³/час
Комплектация: Подложка для обрабатываемых образцов– 1 шт.
Управление: Ручное, время устанавливается таймером 

Датчик давления: Pirani


СКАЧАТЬ БРОШЮРУ ATTO В PDF

Видеопрезентация установки ATTO




Видеопрезентация фирмы Diener




Похожая продукция

Вы недавно смотрели: