ООО «ЭНЕРГОАВАНГАРД»
комплексное оснащение предприятий

+ 7 495 564-82-37

info@eav.su
Отправить запрос на оборудование

Установка SprayCVS-050


Лабораторная печь для процессов SprayCVD на подложках диаметром до 2-ух дюймов. Осаждение и отжиг в одной камере. 

Применение:

  • SprayCVD
  • быстрый термический отжиг (RTA),
  • быстрое термическое окисление (RTO)
  • In-situ отжиг и др.
  • Пластины до 2-ух дюймов
  • Максимальная температура: 1200°C
  • Загрузка: ручная
  • Солнечные элементы: SnO2, ZnO, TiO2, In2O3
  • Электро-оптические покрытия: NiO, Co3O4
  • запоминающее устройство на сегнетоэлектриках: SrTiO3
  • Изолирующие барьерные слои: MgO
  • Каталитические активные покрытия: Co3O4 , NiCo2O4
  • Полупроводники: Nb2O5
  • Сверхпроводники: YBCO
  • Электрохромовые покрытия: WO3
  • Твердооксидный топливный элементы: (SOFC): ZrO2, YSZ, GCO

Спецификация и описание:

- Термопроцессор для быстрого термического отжига и SprayCVD процессов на 2-дюймовых пластинах
- Узкоспециализированные и исследовательские задачи применения
- Размер образцов: от нескольких квадратных миллиметров до 2-ух дюймов в диаметре
- Кварцевая труба камеры реактора с фланцами из нержавеющей стали
- Цилиндрические инфракрасные галогеновые лампы печи
- Очень высокая скорость нагрева
- Дверь с горизонтальным движением с кварцевым лотком для легкой загрузки/выгрузки пластин и установки термопар.


Исполнение и характеристики: 

- Температурный диапазон: от комнатной (RT) до 1200°C (± 1°C)
- Высокая скорость нагрева до 250°C/сек. (200°C/сек для пластины в 2 дюйма)
- Возможность смешивания прекурсоров с аэрозольным аппаратом Atokit (аэрозольный аппарат)
- Вакуум: от атм. (н.у.) до 10-3 Торр  (10-6 Торр с турбомолекулярным насосом)
- Измерение температуры термопарой и быстрым температурным контроллером PID гарантирует высокий и стабильный температурный контроль по всему диапазону температур.
- Пирометрический контроль (опционально)
- Система имеет управление с ПК с программным обеспечением на базе Windows.
- Загрузка: ручная

Похожая продукция


X
Запрос на оборудование
Заказать интересующее вас оборудование вы можете с помощью приведенной ниже формы.Специалисты ООО «ЭНЕРГОАВАНГАРД» свяжутся с вами в ближайшее время для уточнения вашего заказа и проконсультируют по всем интересующим вопросам.
ФИО *
Телефон *
Организация *
Какая продукция интересует?
Электронный адрес
Текст сообщения: *
Пройдите проверку:*