ООО «ЭНЕРГОАВАНГАРД»
комплексное оснащение предприятий

Отправить запрос на оборудование
Заказать звонок

Напольная система очистки SWC 4000


Характеристики SWC 4000

  • отдельно стоящая установка
  • защита от повреждений, очистка щеткой, ультразвуковая, химическая и вращающаяся сушка
  • 12 дюймов - круглые, 9 дюймов - квадратные подложки
  • Микропроцессор для управления
  • модуль распределения химикатов
  • отдельная труба для кислот и растворителей
  • нагретый азот

Модели:


SWC-4000
Напольная модель
Ультразвуковая очистка,
сушка вращением (dry spin) с азотомN2,
распыление химикатов, раздельная подача кислот и растворителей
SWC-4000-М
Напольная модель для очистки фотошаблонов
Ультразвуковая очистка (3 МГц сопла), сушка вращением (dry spin) с азотомN2,
Распыление химикатов, раздельная подача кислот и растворителей.
SWC-4000-MP
Напольная модель для очистки фотошаблонов с пелликлами (сеткой)
Ультразвуковая очистка (1 или 3 МГц сопла),
сушка вращением (dry spin) с азотомN2,
Распыление химикатов, раздельная подача кислот и растворителей.

Опции SWC 4000

  • фотошаблон или пластина
  • очистка щеткой (все поверхности или частично)
  • Очистка химикатами
  • Озонированая DI вода (20 ppm)
  • Струйная очистка горячей DI водой
  • ионизатор азота и др.
  • озоновая очистка
  • очистка под высоким давлением DI
  • Нагретый азот
  • ионизатор азота и др.

SWC 4000:

Ш х Г х В: 26” (660 mm) 30” (762 mm) 52” (1321 mm)

Брошюра - установки серии SWC - 315 КБ... 
Брошюра - установки очистки на русском языке - 375 КБ...

Похожая продукция

Вы недавно смотрели: