ООО «ЭНЕРГОАВАНГАРД»
комплексное оснащение предприятий

Отправить запрос на оборудование
Заказать звонок

Ионный имплантер IMX-3500


Диапазон энергии: от 30 до 200 кэВ (однозарядный ион)
Размер пластины: макс. ø150 мм (6 дюймов)
Система управления: Настройка пучка ионов, вручную.
Транспортировка пластин вручную.
Настройка вакуума, автоматическая.   

IMX-3500 – это усовершенствованная установка для ионной имплантации, работающая на токе средней частоты, обладающая преимуществами простоты эксплуатации и компактности. Установка была разработана на базе UP-150 для университетов, исследовательских учреждений и небольших производственных учреждений.
Источник ионов и блок ускорения луча обладают высокой надежностью и ремонтоспособностью, что было доказано большими продажами установок для ионной имплантации серии IDZ, работающих на токе средней частоты, производства компании ULVAC. Конечная станция состоит из компактной камеры пластинодержателя и камеры загрузочного шлюза, испытанных в UP-150. Системы, включая UP-150, использовались не только для полупроводников, но также для перспективных исследований, таких как изменение свойств поверхности.

Похожая продукция

Вы недавно смотрели: