ООО «ЭНЕРГОАВАНГАРД»
комплексное оснащение предприятий

+ 7 495 564-82-37

info@eav.su
Отправить запрос на оборудование

Устройство электронно-лучевой литографии JBX-3050MV


В связи с  ростом производства микросхем с высокими степенями интеграции, растет потребность мировой полупроводниковой промышленности в высокоточных высокопроизводительных системах производства фотошаблонов. Компания JEOL, являеющаяся лидером по производству промышленных систем электронно-лучевой литографии, следуя новейшим мировым тенденциям, выпустила новую модель – JBX-3050MV.

JBX-3050MV обладает высокими однородностью и плотностью пучка (до 40А/см2),  возможностью изменять форму пучка, проводить векторное сканирование. Данная система вобрала все лучшие качества предыдущих моделей, включая лидера продаж десятилетия – JBX-3040MV.  Она отличается высокой надежностью и производительностью, и, благодаря этому, за столь короткий период прекрасно себя зарекомендовала на ведущих предприятиях мира.


Основные технические характеристики:


Форма пучка
Изменяемая
Сканирование
Векторное
Ускоряющее напряжение
50 кВ
Плотность тока
40А/см2
Однородность
не более 3,5 нм (3σ
Точность позиционирования
не более 7 нм (3σ)

Другие системы электронно-лучевой литографии JEOL:


Электронная пушка Ускоряющее наряжение Минимальный размер пучка Размер пластин Форма пучка Развертка
JBX-3050MV LaB6 single crystal 50 кВ.

6 дюймов (маски) изменяемая Векторное сканирование
JBX-5500FS ZrO/W
(типа Шотки)
50 кВ / 25 кВ 2 нм. пластины 100 мм пятно Векторное сканирование
JBX-6300FS ZrO/W (Schottky) 100 кВ / 50 кВ / 25 кВ 2 нм. пластины до 200 мм. пятно Векторное сканирование
JBX-9300FS ZrO/W (Schottky) 100 кВ / 50 кВ 4нм (100 кВ)
7нм (50 кВ)
пластины до 300 мм. пятно Векторное сканирование

 

Похожая продукция


X
Запрос на оборудование
Заказать интересующее вас оборудование вы можете с помощью приведенной ниже формы.Специалисты ООО «ЭНЕРГОАВАНГАРД» свяжутся с вами в ближайшее время для уточнения вашего заказа и проконсультируют по всем интересующим вопросам.
ФИО *
Телефон *
Организация *
Какая продукция интересует?
Электронный адрес
Текст сообщения: *
Пройдите проверку:*