ООО «ЭНЕРГОАВАНГАРД»
комплексное оснащение предприятий

Отправить запрос на оборудование
Заказать звонок

Установка вакуумного напыления Nexdep


Система Nexdep может быть построена согласно требованиям заказчика компактного размера и по экономичной цене.
Система может быть адаптирована под любой процесс: резистивное термическое испарение, магнетронное распыление или электронно-лучевое напыление, ионное напыление.
Возможность установки нескольких разных процессов в одной камере.   

Видео презентация установки...

Процессы:

резистивное термическое испарение (resistive thermal evaporation), магнетронное напыление (sputter deposition), электронно-лучевое испарение(electron beam evaporation), ионное напыление (ion-assisted deposition)


Обзор:

- ø400мм x 475мм высотой D-образной формы камера с закрепленной на петлях дверью.
- Камера из алюминия или нержавеющей стали (опция).
- Дизайн согласно требованиям заказчика к процессам
- Поддержка нескольких разных PVD процессов в одной камере.
- 600мм х 1000мм - площадь занимаемая системой
- Автоматическое управление процессами осаждения многослойных пленок на основе рецептов.
- Процесс последовательного или параллельного (co-deposition) напыления.
- Диаметр обрабатываемых подложек до 200мм. (пластины большего диаметра по запросу) .
- Обучение работе на системе на заводе
- 1 год гарантии.

Контроль вакуума:
- Автоматический форвакуумный насос
- Сухие насосы (опция)
- Высокий вакуум обеспечивается турбомолекулярным насосом
- Пневматически воздушный фильтр

Управление процессом осаждения:
- теневая маска и выравнивание подложки
- легко и быстро устанавливаемые датчики для поддержки и контроля процесса
- датчики скорости осаждения для контроля и управления процессом
- конфигурация для реализации процесса соосаждения- co-deposition (параллельное осаждение нескольких материалов для получения сплава)
- QCM - изолированный датчик обеспечивает отсутствие интерференции при напылении от прилегающих источников
- Изолирующие экраны из нержавеющей стали защищающие от загрязнения от перекрестного напыления.
- Нагрев подложки, охлаждение и доп. смещение на подложку
- Планетарное вращение


Брошюра - установки серии Nexdep в pdf.

Похожая продукция

Вы недавно смотрели: