ООО «ЭНЕРГОАВАНГАРД»
комплексное оснащение предприятий

Отправить запрос на оборудование
Заказать звонок

Установка вакуумного напыления Evovac


С расширением популярности линейки установок Åmod система  EVOVAC самая большая по размерам установка позволяющая иметь большую гибкость по сравнению с другими. Улучшения в части большей двери и увеличения размера камеры позволяет устанавливать большие по размеру источники. Установка для исследований требующих установки большего количества различных источников в одной камере.


Процессы:

резистивное термическое испарение (resistive thermal evaporation), магнетронное напыление(sputter deposition), электронно-лучевое испарение (electron beam evaporation), ионное напыление (ion-assisted deposition)

Обзор:

Продвинутая система управления на базе ПК.
Камера из алюминия или нержавеющей стали (опция).
- Длинная дистанция между источниками и подложкой.
- Конструкция готовая к интегрированию в перчаточный бокс (опция).
- Наполнение различными источниками PVD процессов согласно требованиям заказчика.
- Поддержка нескольких разных PVD процессов в одной камере.
- 1600мм х 1000мм - площадь занимаемая системой.
- 700мм x 700мм x 500мм (ШхВхГ) камера с выдвижной дверью на петлях (возможна D-образная камера)
- Автоматическое управление процессами осаждения многослойных пленок на основе рецептов.
- Процесс последовательного или параллельного (co-deposition) напыления.
- Диаметр обрабатываемых подложек до 300мм. (пластины большего диаметра по запросу).
- Оснащение вакуумный загрузочным шлюзом (опция)
- Обучение работе на системе на заводе
- 1 год гарантии.


Контроль вакуума:

- Автоматический форвакуумный насос
- Сухие насосы (опция)
- Высокий вакуум обеспечивается турбомолекулярным насосом
- Крио насосы (опция)
- Пневматически воздушный фильтр


Управление процессом осаждения:

- теневая маска и выравнивание подложки
- легко и быстро устанавливаемые датчики для поддержки и контроля процесса
- датчики скорости осаждения для контроля и управления процессом
- конфигурация для реализации процесса соосаждения- co-deposition (параллельное осаждение нескольких материалов для получения сплава)
- QCM - изолированный датчик обеспечивает отсутствие интерференции при напылении от прилегающих источников
- Изолирующие экраны из нержавеющей стали защищающие от загрязнения от перекрестного напыления.
- Нагрев подложки, охлаждение и доп. смещение на подложку
- Планетарное вращение, напыление под углом


Брошюра - установки серии Evovac в pdf.
Видеопрезентация

Похожая продукция

Вы недавно смотрели: