ООО «ЭНЕРГОАВАНГАРД»
комплексное оснащение предприятий

Отправить запрос на оборудование
Заказать звонок

Установка высокотемпературного отжига Zenith 100


Zenith 100 - компактная установка высокотемпературных быстрых термических процессов (High Temperature RTP) с холодными стенками:

Компактная система для высокотемпературных быстрых термических процессов (High Temperature RTP) для обработки пластин диаметром до 4 дюймов (100 мм.) при температуре до 2000°C

Применение:
-Постимплантационный отжиг SiC
-Получение графена высокотемпературной сублимацией SiC
-Получение рафена CVD методом

Спецификация и описание:
- Система имеет камеру с водоохлаждаемыми стенками из нержавеющей стали.
- Технология холодных стенок из нержавеющей стали дающая высокую воспроизводимость процесса с ультра чистой средой и отсутствием загрязнений и быстрым охлаждением.
- Высокотемпературные вольфрамовые нагреватели обеспечивают высокую скорость нагрева и увеличенную однородность по температуре.
- Пирометр и термопара для контроля температуры вместе с быстрым цифровым контроллером PID температуры обеспечивает высокую точность и стабильность температуры
- Система имеет компактное напольное исполнение с легким доступом для сервисного обслуживания
- Высокая надежность и низкая стоимость владения.
- Расширенный температурный диапазон, высокий вакуум и возможность смешивания газов делает установку Zenith 100 подходящей для большого числа High Temp RTP процессов.
- Ручная загрузка
- PC контроль и создание большого количества рецептов

Исполнение и характеристики:
- Температурный диапазон: от комнатной (RT) до 2000°C
- Возможность смешивать процессные газы (до 8 шт)
- Контроллеры массового расхода газа
- Высокий вакуум с турбомолекулярным насосом
- Измерение температуры термопарой и быстрым температурным контроллером PID гарантирует высокий и стабильный температурный контроль по всему диапазону температур.
- Система имеет управление с ПК с программным обеспечением на базе Windows.

СКАЧАТЬ БРОЩЮРУ В PDF
СКАЧАТЬ ПРЕЗЕНТАЦИЮ В PDF



Похожая продукция

Вы недавно смотрели: