ООО «ЭНЕРГОАВАНГАРД»
комплексное оснащение предприятий

Отправить запрос на оборудование
Заказать звонок

Установка AS-One для быстрых термических процессов (RTP)


AS-One - установка быстрых термических процессов (RTP) с холодными стенками:

Система быстрых термических процессов с холодными стенками для обработки пластин диаметром до 4 дюймов (100 мм.) и до 6 дюймов (150 мм.) для использования в лабораториях и мелкосерийных производствах.

Применение:
- Быстрый термический отжиг (RTA - Rapid Thermal Annealing),
- Быстрое термическое окисление (RTO - Rapid Thermal Oxidation)
- CVD графена
- CVD углеродных нанотрубок
- Диффузия, отжигконтактов
- Послеимплантационный отжиг
- Отжиг соединений полупроводников
- Нитридизация, Силицидирование, Сульфиризация и Селенизация
- Кристализация и Загустевание и др.

Спецификация и описание:
- Быстрая термическая обработка пластин диаметром 4" и 6"
- Компактная напольная конфигурация для экономии места
- Высокая надежность и низкая стоимость владения
- Технология холодных стенок из нержавеющей стали
- Высокая воспроизводимость процесса
- Ультра чистая среда и отсутствие загрязнений
- Высокая скорость охлаждения и низкий эффект памяти
- Высоковакуумная версия (10-6 Торр) доступна
- Кварцевая труба камеры реактора с фланцами из нержавеющей стали
- Пирометр и термопара для контроля температуры
- Быстрый цифровой контроллер температуры PID
AS-One 010.jpg
Исполнение и характеристики:
- Температурный диапазон: от комнатной (RT) до 1500°C (в зависимости от версии)
- Скорость нагрева до 200°C/сек.
- Скорость охлаждения: 100°C/сек со специальным оборудованием
- Возможность смешивать процессные газы
- Контроллеры массового расхода газа
- Вакуум: от атм. (н.у.) до 10-6 Торр с турбомолекулярным насосом
- Измерение температуры термопарой и быстрым температурным контроллером PID гарантирует высокий и стабильный температурный контроль по всему диапазону температур.
- Система имеет управление с ПК с программным обеспечением на базе Windows.

СКАЧАТЬ БРОЩЮРУ В PDF
СКАЧАТЬ ПРЕЗЕНТАЦИЮ В PDF



Похожая продукция

Вы недавно смотрели: