ООО «ЭНЕРГОАВАНГАРД»
комплексное оснащение предприятий

Отправить запрос на оборудование
Заказать звонок

Установка AS-Micro для быстрых термических процессов (RTP)


AS-Micro - установка быстрых термических процессов (RTP):

Система для использования пластин диаметром до 3 дюймов для использования в лабораториях. Версия с двумя камерами для перекрестного загрязнения (cross contamination).
Применение:
- Быстрый термический отжиг (RTA),
- Быстрое термическое окисление (RTO)
- Послеимплантационный отжиг
- Отжиг соединений полупроводников
- Кристализация и Загустевание
- Сульфиризация и Селенизация и др.
Спецификация и описание:
- Термопроцессор для быстрой термической обработки 3-дюймовых пластин
- Компактная конфигурация для настольного расположения
- Узкоспециализированные и исследовательские задачи применения
- Размер образцов: от нескольких квадратных миллиметров до 3 дюймов в диаметре
- Опционально трехдюймовый держатель для образцов диаметром 2 дюйма
- Кварцевая труба камеры реактора с фланцами из нержавеющей стали
- Цилиндрические инфракрасные галогеновые лампы печи
- Очень быстрая скорость нагрева
- Дверь с горизонтальным движением с кварцевым лотком для легкой загрузки/выгрузки пластин и установки термопар.
ASMicro_Twin.jpg
Исполнение и характеристики:
- Температурный диапазон: от комнатной (RT) до 1250°C
- Скорость нагрева до 250°C/сек. на двухдюймовой (2") кремниевой подложке и 200°C/сек на трехдюймовой (3") подложке.
- Возможность смешивать процессные газы
- Контроллеры массового расхода газа
- Вакуум: от атм. (н.у.) до 10-2 Торр (10-6 Торр по запросу с турбомолекулярным насосом - опция)
- Измерение температуры термопарой и быстрым температурным контроллером PID гарантирует высокий и стабильный температурный контроль по всему диапазону температур.
- Опционально: пиромерт
- Система имеет управление с ПК с программным обеспечением на базе Windows.

СКАЧАТЬ БРОЩЮРУ В PDF
СКАЧАТЬ ПРЕЗЕНТАЦИЮ В PDF

Похожая продукция

Вы недавно смотрели: