ООО «ЭНЕРГОАВАНГАРД»
комплексное оснащение предприятий

Отправить запрос на оборудование
Заказать звонок

Установка AS-Master для быстрых термических процессов (RTP) и RTCVD


AS-Master - установка быстрых термических процессов (RTP) и возможность RTCVD с холодными стенками:
Универсальная система для быстрых термических процессов (RTP) для обработки пластин диаметром до 8 дюймов (200 мм.) с возможностью проведения процессов RTCVD (опция).
Применение:
- Быстрый термический отжиг (RTA - Rapid Thermal Annealing),
- Быстрое термическое окисление (RTO - Rapid Thermal Oxidation)
- Отжиг SiC контактов, карбонизация
- Отжиг соединений полупроводников
- Контроль качества имплантации
- Послеимплантационный отжиг
- RTCVD (поликремний - Poly Si, SiO2, SiNx...) и др.
Спецификация и описание:
- Система быстрых термических процессов AS-Master имеет высокую функциональность для широкого диапазона процессов от отжига до быстрого термического осаждения из газовой фазы (RTCVD)
- Версия установки для высокой температуры может проводить процесс отжига при 1500 °C и позволяет разрабатывать новые процессы. Опционально: кубическая камера реактора для больших и квадратных и прямоугольных образцов.
- Технология холодных стенок из нержавеющей стали дающая высокую воспроизводимость процесса с ультра чистой средой и отсутствием загрязнений
- Загрузочный шлюз и кластерная конфигурация системы доступны по запросу для увеличения чистоты процесса.
- Расширенный температурный диапазон, вакуум (от атмосферы до 10-7 Торр) и возможность смешивания газов делает установку AS-Master подходящей для большого числа RTP процессов и RTCVD процессов.
- Пирометр и термопара для контроля температуры вместе с быстрым цифровым контроллером PID температуры обеспечивает высокую точность и стабильность температуры
- Ручная загрузка или загрузка из кассеты (опция) делает систему подходящей для переноса процесса разработки и НИОКР в производство.
ASMasterCC_Detouree.png
Исполнение и характеристики:
- Температурный диапазон: от комнатной (RT) до 1500°C (в зависимости от версии)
- Скорость нагрева до 200°C/сек.
- Возможность смешивать процессные газы
- Контроллеры массового расхода газа
- Вакуум: от атм. (н.у.) до 10-7 Торр с турбомолекулярным насосом
- Измерение температуры термопарой и быстрым температурным контроллером PID гарантирует высокий и стабильный температурный контроль по всему диапазону температур.
- Система имеет управление с ПК с программным обеспечением на базе Windows.

СКАЧАТЬ БРОЩЮРУ В PDF
СКАЧАТЬ ПРЕЗЕНТАЦИЮ В PDF



Похожая продукция

Вы недавно смотрели: