ООО «ЭНЕРГОАВАНГАРД»
комплексное оснащение предприятий

+ 7 495 564-82-37

info@eav.su
Отправить запрос на оборудование

Компактная установка AS-Premium для быстрых термических процессов (RTP)


AS-Premium - компактная установка быстрых термических процессов (RTP) с холодными стенками:

Компактная система для быстрых термических процессов (RTP) для обработки пластин до 8х8 дюймов (200 х 200 мм.).

Применение:
- Быстрый термический отжиг (RTA - Rapid Thermal Annealing),
- Быстрое термическое окисление (RTO - Rapid Thermal Oxidation)
- Диффузия, селинизация
- Отжиг SiC контактов, карбонизация
- Отжиг соединений полупроводников
- Нитритизация, силицидирование
- Послеимплантационный отжиг

Спецификация и описание:
- Система быстрых термических процессов AS-Premium имеет высокую функциональность для широкого диапазона процессов
- Система имеет компактное напольное исполнение с легким доступом для сервисного обслуживания
- Высокая надежность и низкая стоимость владения.
- Версия установки для высокой температуры может проводить процесс отжига при 1300 °C и позволяет разрабатывать новые процессы.
- Технология холодных стенок из нержавеющей стали дающая высокую воспроизводимость процесса с ультра чистой средой и отсутствием загрязнений
- Загрузочный шлюз и кластерная конфигурация системы доступны по запросу для увеличения чистоты процесса.
- Доступны конфигурации как только с верхним расположением ламп так и конфигурация для вдухсторонненог нагрева с верхним и нижним расположением ламп
- Расширенный температурный диапазон, вакуум (от атмосферы до 10-6 Торр) и возможность смешивания газов делает установку AS-Premium подходящей для большого числа RTP процессов.
- Пирометр и термопара для контроля температуры вместе с быстрым цифровым контроллером PID температуры обеспечивает высокую точность и стабильность температуры
- Ручная загрузка или загрузка с load-lock (опция).

Исполнение и характеристики:
- Температурный диапазон: от комнатной (RT) до 1100°C или до 1300°C (в зависимости от версии)
- Скорость нагрева до 100°C/сек.
- Возможность смешивать процессные газы (до 8 шт)
- Контроллеры массового расхода газа
- Вакуум: от атм. (н.у.) до 10-6 Торр с турбомолекулярным насосом
- Измерение температуры термопарой и быстрым температурным контроллером PID гарантирует высокий и стабильный температурный контроль по всему диапазону температур.
- Система имеет управление с ПК с программным обеспечением на базе Windows.

СКАЧАТЬ БРОЩЮРУ В PDF
СКАЧАТЬ ПРЕЗЕНТАЦИЮ В PDF



Похожая продукция


X
Запрос на оборудование
Заказать интересующее вас оборудование вы можете с помощью приведенной ниже формы.Специалисты ООО «ЭНЕРГОАВАНГАРД» свяжутся с вами в ближайшее время для уточнения вашего заказа и проконсультируют по всем интересующим вопросам.
ФИО *
Телефон *
Организация *
Какая продукция интересует?
Электронный адрес
Текст сообщения: *
Пройдите проверку:*