ООО «ЭНЕРГОАВАНГАРД»
комплексное оснащение предприятий

Отправить запрос на оборудование
Заказать звонок

Установки безмасковой лазерной литографии VPG 200/ VPG 400


Предназначена для работы с фотошаблонами при больших объемах производства. Увеличена скорость письма по сравнению с DWL 66+ и DWL 200/DWL 4000.
Предназначена для задач производств крупных серий. Формирования топологических структур на металлизированных фотошаблонах при производстве интегральных схем, гибридных интегральных схем, а также для формирования структур на пластине, при производстве МЭМС, БиоМЭМС, интегрированной оптики, дисплеи.
Минимальный топологический размер 0,75 мкм. Размер шаблонов до 200 х 200 мм и до 400 х 400 мм соответственно. Размер адресной сетки до 12,5 нм. Скорость письма от 300 до 1000 мм2/мин в зависимости от выбора пишущей линзы.

СКАЧАТЬ БРОШЮРУ VPG 200/ VPG 400 В PDF
СКАЧАТЬ БРОШЮРУ VPG 800/ VPG 1100 / VPG 1400 В PDF



Похожая продукция

Вы недавно смотрели: