ООО «ЭНЕРГОАВАНГАРД»
комплексное оснащение предприятий

+ 7 495 564-82-37

info@eav.su
Отправить запрос на оборудование

Установка атомно-слоевого осаждения


Атомно-слоевое осаждение (ALD) - процесс осаждения очень тонких пленок с высокой однородностью и 3Dструктуру слой за слоем. Высокоточный контроль толщины и свойств получаемых пленок обеспечивается добавлением прекурсоров в вакуумную камеру отдельными циклами в процессе осаждения. Плазменно-стимулированное атомно-слоевое осаждение (PEALD - Plasma Enhanced Atomic Layer Deposition) продвинутый метод расширяющий возможность ALD применением радикалов частиц газа вместо воды в качестве окислителя в процессе осаждения.

Основанное на многолетнем успешном опыте разработки и производства систем PECVD и ICPECVD, включая запатентованный ICP источник в виде тройной планарной спиральной антенны (PTSA) компания SENTECH с гордостью анонсирует запуск первой PEALD системы. Новая ALD система позволяет реализовывать как режим термического так и плазменного стимулированного осаждения, а также использует эллипсометр SENTECH для контроля осаждения. SENTECH предлагает самые передовые и современные ультра быстрые in-situэллипсометры для контроля роста осаждаемых слой за слоем пленок с использование как лазерного так и спектроскопических эллипсометров. 

Первая PEALD система уже внедрена в лаборатории технического универсистетма Брауншвейга для осаждения экстримально однородных и плотных тонких пленок таких как Al2O3, ZnO. Система PEALD показала превосходные параметры по однородности и индексу преломления получаемых слоев.

По запросу мы можем предоставить презентацию систем ALD от SENTECH Instruments GmbH.

layer thickness picture.jpg ALD_01.jpg


X
Запрос на оборудование
Заказать интересующее вас оборудование вы можете с помощью приведенной ниже формы.Специалисты ООО «ЭНЕРГОАВАНГАРД» свяжутся с вами в ближайшее время для уточнения вашего заказа и проконсультируют по всем интересующим вопросам.
ФИО *
Телефон *
Организация *
Какая продукция интересует?
Электронный адрес
Текст сообщения: *
Пройдите проверку:*