ООО «ЭНЕРГОАВАНГАРД»
комплексное оснащение предприятий

Отправить запрос на оборудование
Заказать звонок

Полуатоматическая зондовая станция SPS-2800 (SPS-2800-PLUS)


MicroXact Incorporated (США) - компания разрабатывает и производит широкий круг зондовых станций для контроля в производстве полупроводниковых прибор и исследованиях. Системы максимально доступны и легки в использовании. Сконструированные компанией MicroXact Inc. точные и надежные аналитические системы для зондовых измерений могут быть полностью оптимизированы под практически любую задачу и требования заказчика. Технически зондовые станции могут быть сконструированы для пластин диаметром до 200 мм. и сконфигурированы для измерений DC, RF, температурных и оптических измерений как в ручном так и в автоматическом режимах.
Полуавтоматическая зондовая станция с высоким соотношением цена/качество с управлением с ПК или ручным управлением для исследований и мелкосерийных производств с возможностью апгрейда. DC и RF измерения, измерение емкости возможностью апгрейда. Увеличенная версия зондовой станции SPS-2600.

Зондовая станция SPS-2800 сконструирована для DC, RF и ёмкостных измерений, однако станция также может быть сконфигурирована для температурных и светочувствительных измерений и высоко частотных измерений. Станция полностью готова к апгрейду и возможности конфигурации под любые требования заказчиков.

Характеристики станции:
- Тестирование на пластинах до 200 мм. (8 дюймов)
- 4 манипулятора зондов (2 слева и 2 справа) в стандартной конфигурации (до 10 шт.)
- Стереомикроскоп с длинным фокусным расстоянием и высоко мощнымным LED осветителем
- VXM моторизованный столик для перемещения по осям XY
- Диапазон перемещения по XY до 229 х 229 мм.
- Разрешение перемещения столика по XY - ±3,2 мкм (±0,8 мкм - SPS-2800-PLUS)
- Повторяемость - <6 мкм (<2 мкм - SPS-2800-PLUS)
- Точность - <25 мкм (<10 мкм - SPS-2800-PLUS)
- Перемещение по Z моторизовано.
- Перемещение по Z - 12,7 мм
- Разрешение перемещения по Z - ±0,8 мкм (±0,2 мкм - SPS-2800-PLUS)
- Повторяемость по Z - <1,5 мкм (<1 мкм - SPS-2800-PLUS)
- Точность - <6,5 мкм (<2,5 мкм - SPS-2800-PLUS)
- Точность наклона столика (вертикальная жесткость): ≤ 0,0015 мкм (при 10 кг загрузки)
- Перемещение по Тета: от 0° - 360°, ±6°
- Разрешение по Тета- 0,1° (0,05° - SPS-2800-PLUS)
- Управление с ПК и джойстиком
- COSMOS программное обеспечение, руководство по программе
- Экранирование от внутренних радиопомех (EMI shilding)
- Опции и апгрейд

Стандартная конфигурация:
- Платформа станции
- 4 манипулятора микропозиционера зондов (2 слева и 2 справа) в стандартной конфигурации
- 4 стандартных рук-зондов и вольфрамовые иглы зондов
- Стереомикроскоп с длинным фокусным расстоянием (цифровая камера - опция)
- Увеличение до 180х (до 4000х - опционально)
- Высоко мощным LED осветителем с регулировкой интенсивности освещения
- Окуляры на 10х и 20х для микроскопа
- Вспомогательная 2х (Barlow) линза для микроскопа
- Стандартный безмаслянный или ультра тихий вакуумный насос для прижима
- Экранирование от внутренних радиопомех (EMI shilding)

Опции и дополнительные акцессории:
- Нагреваемый предметный столик (температурный диапазон по запросу)
- Охлаждаемый предметный столик (температурный диапазон по запросу)
- Нагреваемый / охлаждаемый предметный столик (температурный диапазон по запросу)
- Держатели пластин: до 100 мм, 150 мм и до 200 мм.
- Обработка держателей: (полированная латунь, анодированный алюминий, позолоченная полированная латунь)
- Цифровая фото-видеокамера высокого разрешения: по выбору 9,1 ; 5,0 или 1,3 Мегапикселов
- Установка для перемещения микроскопа по XY в диапазоне 50 х 50 мм
- Консольная установка для перемещения по осям XYZ
- Программное обеспечение для камеры для снятия размеров и захвата изображения
- Апгрейд микроскопа для увеличения до 4000х
- Световое экранирование (защита) для светочувствительных измерений
- Экранирование (защита) от RF помех
- Лазерный или ультразвуковой резак
- Микропозиционеры высокого разрешения с вакуумной базой
- Микропозиционеры высокого разрешения с магнитной базой
- Полугибкие руки зондов с BNC соединителями
- TRIAX, BNC, Pin-plug соединители
- Зонды: активные, пассивные, ВЧ, триаксиальные, коаксиальные, с низким сопротивлением
- Microxact может использоваться со всеми основными производителями плат

ОПИСАНИЕ:


Позиционирование:
XY столик: система позиционирования с обратной связью обеспечивает микронную точность для измерений. Шаговые моторы обеспечивают быстрое позиционирование по оси XY. Легкое и ручное позиционирование с использование 2-ух скоростного аналогового джойстика.

Платформа-плита зондовой станции:
Платформа зондовой станции моторизована для легкого перемещения станции вверх/вниз с использование удобного кулисного переключателя на передней панели станции.

microxact_xy positioning_sps_2600 111.jpg

Микропозиционеры: микропозиционеры высокого разрешения имеют микрометрические винты для регулировки игл зондов по оси X, Y и Z. (на картинке микропозиционер высокого разрешения 80 TPI)

222.jpg

Программное обеспечение под операционной системой MICROSOFT WINDOWS для управления станцией
XY позиционирование пластин/подложек может быть реализовано с использованием VXM C.O.S.M.O.S. программного обеспечения.
Программное обеспечение включает:
- Программное обеспечение для управления и установки параметров зондовой станции для автоматических измерений
- Устройства самодиагностики для использования различных опций и увеличения функциональности
- Onine поддержка

Automation Software (программное обеспечение для автоматизации работы станции)
Краткое описание:
Программное обеспечение генерирует и создает карту прибора, основанную на информации заказчика и пользователя. Пользователь может выбирать какие именно приборы на пластине должны быть протестированы и измерены параметры ,а какие пропущены (перепрыгнуты) и система будет двигаться к первому прибору, который задал оператор. Далее идет измерения зондами по программе с выбором нужного зонда, далее к другому прибору на пластине и так до окончания всего теста. Все рецепты и результаты могут быть сохранены. ПО – LabView based и полностью настраиваемое.
MicroXact Inc. может предложить дописать и оптимизировать программное обеспечение под задачу заказчика! Такую возможность не предлагает ни один производитель на рынке.

333.jpg

Брошюра - automation software...

Вращающийся держатель
Вакуумный держатель смонтирован на вращающемся столике с возможностью вращения от 0° - 360° с точной регулировкой ±6°

444.jpg

Панель связи с внешними устройствами
Контрольно-измерительные приборы могут быть подсоединены к манипуляторам зондов через панель связи с внешними устройствами. BNC соединители - стандартное соединение. Соединители других типов и их количество определяется по запросу заказчика. Комбинация Triax, BNC и banana-jack и вакуумных соединителей доступна. (на картинке передняя и задняя часть панели)

555.jpg 666.jpg


Вакуумный держатель с регулированием
Вакуумный держатель с регулированием имеет 3 опции для подачи вакуума на образец. Для пластин диаметром от 4 дюймов используется крайний левый тумблер (расположен слева от блока микроскопа) для включения /выключения вакуума. Для пластин от 1 до 3 дюймов используется средний тумблер. Для пластин и кусочков меньшего размера чем 1 дюйм используется крайний правый тумблер. Для образцов не имеющих гладкую поверхность (выгнутых, например) можно использовать комбинацию режимов (тумблеров) для обеспечения лучшего прижима.

777.jpg 888.jpg


Кольцевой осветитель микроcкопа с микропозиционерами 40TPI и зондами (иглами)

9899.jpg

Похожая продукция

Вы недавно смотрели: