ООО «ЭНЕРГОАВАНГАРД»
комплексное оснащение предприятий

+ 7 495 564-82-37

info@eav.su
Отправить запрос на оборудование

Аналитическая Зондовая станция LCS-4000 с интегрированным лазерным резаком


Зондовая станция с интегрированным лазерным резаком с высоким соотношением цена/качество с управлением с ПК или ручным управлением для исследований и мелкосерийных производств с возможностью апгрейда DC и RF измерения, измерение емкости. Станция LCS-4000 дает максимум гибкости в исследовании полупроводников, лазерной подгонке, лазерного перерезания контактов, анализе отказов, маркировке и лазерного снятия поверхностного слоя в многослойных структурах. Все действия делаются на микроскопическом уровне

LCS-4000 предлагается как с полностью ручным управлением так и с полуавтоматическим управлением и может быть легко сконфигурирована для большого числа применений с большим числом различных опций.
Характеристики станции:

- Тестирование на пластинах до 100 мм. (4 дюйма)
- манипуляторы зондов для DC или RF измерений
- Интегрированная лазерная система для точного отрезания контактов и снятия поверхностного слоя
- Возможность проводить одновременно и DC и RF измерения в процессе подгонки или снятия дефектов с прибора
- Seiwa микроскоп высокого разрешения с револьверной головкой объективов
- VXM моторизованный столик для перемещения по осям XY
- Диапазон перемещения до 100 х 100 мм.
- Программное обеспечение, руководство по программе
- Разрешение перемещения столика по XY - ±1,5 мкм
- Перемещение по Z - 12,7 мм
- Планарность столика ≤ 12,7 мкм
- Вакуумный держатель
- Перемещение по Тета моторизовано: от 0° - 360°, ±6°
- Разрешение по Тета- 0,01°
- Управление с ПК и джойстиком
- программное обеспечение, руководство по программе
- Seiwa микроскоп высокого разрешения с перемещением XY-100 x 100 мм
- Револьверная головка микроскопа с 4-мя объективами
- Фокусное расстояние +-25 мм
- Пульсовый лазер с воздушным охлаждением Nd: YAG Class IIIb
- Длительность импульса 3-4 нс на всей длине волны
- Ширина импульса: 1064 нм, 532 нм, 355 нм.

Энергия импульса (высокая/низкая):
1064 нм, 0,5 mJ / 0,15 mJ
532 nm: 0,5 mJ / 0,15 mJ
355 nm: 0,4 mJ / 0,15 mJ

Размер отреза:
Мин. (100х объектив)
1064 нм: 2 х 2 мкм
532 нм: 1 х 1 мкм
355 нм: 1 х 1 мкм
Макс. (50х объектив)
1064 нм: 50 х 50 мкм
532 нм: 40 х 40 мкм
355 нм: 30 х 30 мкм
- Опции и апгрейд

Опции и дополнительные акцессории:
- Различные модификации микроскопов для лазерной системы
- Поляризационные микроскопы
- Выбор лазеров с двумя или тремя длинами волн
- Широкий выбор камер
- RF chuck и защита от помех
- Полированный латунный или позолоченный вакуумный держатель
- Ультра тихий вауумный насос
- Термо-крио держатели (-100 до +200 оС)

2.jpg

Брошюра - LCS-4000...

Похожая продукция


X
Запрос на оборудование
Заказать интересующее вас оборудование вы можете с помощью приведенной ниже формы.Специалисты ООО «ЭНЕРГОАВАНГАРД» свяжутся с вами в ближайшее время для уточнения вашего заказа и проконсультируют по всем интересующим вопросам.
ФИО *
Телефон *
Организация *
Какая продукция интересует?
Электронный адрес
Текст сообщения: *
Пройдите проверку:*