ООО «ЭНЕРГОАВАНГАРД»
комплексное оснащение предприятий

Отправить запрос на оборудование
Заказать звонок

Оборудование метрологии пластин и тонких пленок FSM

Установки определения поверхностного сопротивления и утечек (Electrical Char)

Установка определения адгезии пленки (Adhesion Tester)

Определение напряженности пленок при t до 500 oC и до 900 oC в вакууме и газовой среде

Определение толщины пластины, Warp, TTV, шероховатости

Определения напряженности пленок (film stress measurements) и прогиба (BOW)