ООО «ЭНЕРГОАВАНГАРД»
комплексное оснащение предприятий

Отправить запрос на оборудование
Заказать звонок

Спетроскопический эллипсометр SE 850


SE 850 - спектроскопический УФ-ВИД-ИК (UV-VIS-NIR) эллипсометр производства SENTECH Instruments GmbH (Германия) с возможностью проведения измерений пленок под различными углами разработан для высокоточного измерения толщины и оптических характеристик как однослойных пленок, так и многослойных пленочных структур (коэффициент преломления, показатель поглащения) на различных типах поверхностей. Измерение нанопленок. Спектральный диапазон: 240 - 2500 (3500) нм
SE 850 - новейший UV-VIS-NIR (УФ-ВИД-ИК) спектроскопический эллипсометр специально разработан для исследований с возможностью проведения измерений толщин одно- и многослойных пленок и пленочных структур под различными углами и для измерения оптических характеристик пленочных структур (коэффициент преломления, показатель поглащения) на различных типах поверхностей в УФ и видимом диапазоне длин волн (240 - 2500 нм.) с возможностью расширений спектрального диапазона до 190 - 2500 (3500) нм.

senresearch.jpg

Технические характеристики:


Общие характеристики:

Спектральный диапазон: UV/VIS/NIR: 240…2500 (3500) нм.
Раpмер образца: 6”, опция: 8”
Подложка образца: Прозрачная / непрозрачная
Ручной гониометр: Регулировка угла от 20-90º или 40-90º, шаг 5º, воспроизводимость 0,01º
manual goniometer.jpg
Измеряемые слои: Программное обеспечение не ограничивает количество измеряемых слоев. На практике количество измеряемых слоев определяется свойствами образца.

В комплект поставки включен мощный пакет программного обеспечения SpectraRay 3 для спектроскопической эллипсометрии, позволяющий проводить измерение psi, delta, tan[psi], cos[delta], коэффициентов Фурье (S1, S2), интенсивности рассеяния света как зависимость от длины волны, угла падения и угловой фазы. SpectraRay 3 обеспечивает получение данных, управление файлами, вывод в численном и/или графическом виде измеренных данных и спектров, анализ всех видов оптических спектральных функций, моделирование результатов и др. ПО включает в себя большую библиотеку оптических данных и готовых к использованию диэлектрических функций.
Описание SpectraRay 3 от производителя - SpectraRay 3.pdf

SENTECH опция маппинга (моторизованный столик для образцов с компъютерным управлением) и ПО позволяет анализировать однородность распределения толщины пленки на образце. Данные могут быть выведены как 2D- и 3D- изображение распределения толщины с полной статистикой.

senresearch3.gif

Опции:

200 мкм. микроспот (фокусировка пятна) и до 100 мкм по дополнительному заказу.
Управляемый компьютером моторизованный гониометр (40-90º), опционально (20-90º)
Столик с ручной регулировкой x-y (перемещение - 150 мм) для картирования (mapping)
Моторизованные столики для образцов с компьютерным управлением для образцов диаметром до 300 мм и перемещением
Криостат 4 - 700 ºК
Видеокамера для выравнивания образца взамен окуляра с выводом изображения и РС.
Автофокусировка в комбинации с моторизованным столиком для образцов
Рефлектометр (Film Thickness Probe) FTPadv с диаметром пятна 80 мкм.
ПО для иммитационного моделирования (SIMULATION Software)
Жидкостная ячейка
Столик с нагревом
Расширение спектра в ИК область
Измерение на просвет
Измерение 16-тизначной матрицы Мюллера

Похожая продукция

Вы недавно смотрели: