ООО «ЭНЕРГОАВАНГАРД»
комплексное оснащение предприятий

+ 7 495 564-82-37

info@eav.su
Отправить запрос на оборудование

Спектроскопический эллипсометр SENpro (low budget)


SENpro - бюджетный спектроскопический УФ-ВИД (UV-VIS) эллипсометр производства SENTECH Instruments GmbH (Германия) с возможностью проведения измерений пленок под различными углами разработан для высокоточного измерения толщины и оптических характеристик как однослойных пленок, так и многослойных пленочных структур (коэффициент преломления, показатель поглащения) на различных типах поверхностей. Измерение нанопленок.

Спектральный диапазон: 370 - 1050 нм.
SpectraRay/3 программный пакет

Применение: Измерение толщины и коэффициента преломления как единичных слоев так и многослойных пленок в производстве или лаборатории.

Особенности


  • Высокая стабильность и точность при измерении с источником света (Волфрамовая-Галогеновая лампа, 370-1050 нм.).
  • Высокая точность выравнивания образца (регулировка по высоте и углу наклона).
  • Полностью интегрированная поддержка для многоугловых измерений с продвинутым программным обеспечением SpectraRay/3 от SENTECH.
  • Полный пакет предустановленных применений в микроэлектронике, фотовольтаике (солнечные элементы) и др.
  • Дружественный интерфейс.
  • Высокая скорость измерений (менее 10 сек для полного спектра, более 500 длин волн)
  • Мощный пакет программного обеспечения SpectraRay 3 для спектроскопической эллипсометрии, позволяющий проводить измерение psi, delta,tan[psi], cos[delta], коэффициентов Фурье (S1, S2), интенсивности рассеяния света как зависимость от длины волны, угла падения. SpectraRay 3 обеспечивает получение данных, управление файлами, вывод в численном и/или графическом виде измеренных данных и спектров, анализ всех видов оптических спектральных функций, моделирование результатов и др. ПО включает в себя большую библиотеку оптических данных и готовых к использованию диэлектрических функций.

Описание SpectraRay 3 от производителя - SpectraRay/3.pdf

Опции:


- ACT (автоколлиматический телескоп) для выравнивания образца

- Моторизованные столики с компьютерным управлением для обрацов диаметром до 200 мм и перемещением с высокой точностью для меппинга (картирования)

- Жидкостная ячейка

ОПИСАНИЕ SENPRO В PDF

Характеристики


Источник и длина волны  632,8 нм
HeNe лазер (< 1 мВт)
Спектральное разрешение   2,4 нм
Принцип измерения  

Step Scan Polarizer

Столик Фикесированный столик для образцов диаметром до 150 мм (другие столики по запросу)
Диапазон измерений для прозрачных пленок:  Зависит от количества слоев и материала пленок
Количество измеряемых слоев

Программное обеспечение не ограничивает количество измеряемых слоев. На практике количество измеряемых слоев определяется свойствами образца

Время измерения 10 с для всего спектра
Диаметр светового пятна около 2 мм
Масимальная высота образца 8 мм (более толстые по запросу)
Угол падения луча света Ручной гониометр 40 – 90о, шаг установки 5о 

Похожая продукция


X
Запрос на оборудование
Заказать интересующее вас оборудование вы можете с помощью приведенной ниже формы.Специалисты ООО «ЭНЕРГОАВАНГАРД» свяжутся с вами в ближайшее время для уточнения вашего заказа и проконсультируют по всем интересующим вопросам.
ФИО *
Телефон *
Организация *
Какая продукция интересует?
Электронный адрес
Текст сообщения: *
Пройдите проверку:*