ООО «ЭНЕРГОАВАНГАРД»
комплексное оснащение предприятий

+ 7 495 564-82-37

info@eav.su
Отправить запрос на оборудование

ИК-Фурье спектроскопический эллипсометр SENDIRA для измерений в ИК спектре


SENDIRА - высокопроизводительная FT-IR (ИК-Фурье) эллипсометерическая cистема производства SENTECH Instruments GmbH (Германия) со спектральным диапазоном 400 см-1 – 6000 см-1 (1666–25000 нм.) и управляемым компьютером моторизованным гониометром для проведения измерений толщины и оптичеких показателей тонких пленок в ИК спектре.

Спектральный диапазон: от 1666 до 25000 нм
ИК-фурье спектрометр в качестве источника света.
ACT (автоколлиматический телескоп) для выравнивания образца
SpectraRay/3 программный пакет
Большое количество опций

Применение: Измерение толщины и коэффициента преломления как единичных слоев так и многослойных пленок в производстве или лаборатории.

Данная модель является идеальной платформой для проведения эллипсометрических измерений в диапазоне MIR (средняя ИК-область) с возможностью измерения при разных углах падения луча (угловое разрешение 0,005º, шаг 0,01º) и позволяет использовать моторизованный столик (опция по дополнительному заказу) для проведения измерений по всей поверхности образца в автоматическом режиме (сканирование – mapping).

Система имеет достаточно большой горизонтальный столик для образцов, позволяющий легко проводить измерения без установки образца в вертикальное положение.

Угол падения (моторизованный гониометр) и поляризатор управляются компьютером.

Система SENDIRА определяет эллипсометрический угол Дельта в полном диапазоне от 0º до 360º с высокой точностью.

Точная установка образца является важным фактором при проведении эллипсометрических измерений. SENDIRА оборудована Автоколлиматором (ACT) и оптическим микроскопом для выравнивания образцов по высоте и углу наклона.

Система SENDIRA позволяет проводить иссследования таких новых областях как измерение слоев органических проводников, OLEDs, полимерных пленок, SOI и др.

Особенности


  • Высокая стабильность и точность при измерении с источником света (FTIR спектромерт для всего измеряемого диапазона).
  • Высокая точность выравнивания образца (регулировка по высоте и углу наклона) с помощью ACT (автоколлиматический телескоп).
  • Полностью интегрированная поддержка для многоугловых измерений с продвинутым программным обеспечением SpectraRay/3 от SENTECH.
  • Полный пакет предустановленных применений в микроэлектронике, фотовольтаике (солнечные элементы) и др.
  • Дружественный интерфейс.
  • Высокая скорость измерений (менее 10 сек для полного спектра, более 500 длин волн)
  • Мощный пакет программного обеспечения SpectraRay 3 для спектроскопической эллипсометрии, позволяющий проводить измерение psi, delta,tan[psi], cos[delta], коэффициентов Фурье (S1, S2), интенсивности рассеяния света как зависимость от длины волны, угла падения. SpectraRay 3 обеспечивает получение данных, управление файлами, вывод в численном и/или графическом виде измеренных данных и спектров, анализ всех видов оптических спектральных функций, моделирование результатов и др. ПО включает в себя большую библиотеку оптических данных и готовых к использованию диэлектрических функций.

Описание SpectraRay 3 от производителя - SpectraRay/3.pdf

Опции:


- TE охлаждаемый DLaTGS детектор для использования ИК-фурье спектрометра как самостоятельного прибора

- Моторизованные столики с компьютерным управлением для обрацов диаметром до 200 мм и перемещением с высокой точностью для меппинга (картирования)

- Автоматическое выравнивание столика по высоте и углу наклона

ОПИСАНИЕ SENDIRA В PDF

Характеристики


Длина волны  400 см-1 – 6000 см-1 (1666–25000 нм.)
Источник света ИК-Фурье спектрометр (FT-IR)
Гониометр моторизованный, угловое разрешение 0,005º, шаг 0,01º 
Выравнивание образца на столике Автокалиматиеский телескоп (ACT) или полностью автоматическая ситема выравнивания столика по углу наклона и высоте.
Размер пятна  В зависимости от угла падени света
Типичное 4х10 мм (при угле падения 700)
Тольщина измеряемых образцов до 10 мм (или другое по запросу)
Столик 150 мм в диаметре или 200 мм (по запросу). Стационарый или моторизованный
Диапазон измерений для прозрачных пленок:  до 200 мкм

Похожая продукция


X
Запрос на оборудование
Заказать интересующее вас оборудование вы можете с помощью приведенной ниже формы.Специалисты ООО «ЭНЕРГОАВАНГАРД» свяжутся с вами в ближайшее время для уточнения вашего заказа и проконсультируют по всем интересующим вопросам.
ФИО *
Телефон *
Организация *
Какая продукция интересует?
Электронный адрес
Текст сообщения: *
Пройдите проверку:*