ООО «ЭНЕРГОАВАНГАРД»
комплексное оснащение предприятий

+ 7 495 564-82-37

info@eav.su
Отправить запрос на оборудование

Автоматический спектроскопический эллипсометр SENDURO®


Высокопроизводительная автоматическая эллипсометрическая измерительная система SENDURO® на базе УФ-ВИД спектроскопического эллипсометра с возможностью сканирования производства SENTECH Instruments GmbH (Германия) для проведения измерений толщины и оптичеких показателей тонких пленок в производстве.

Спектральный диапазон: от 290 до 850 нм
Полностью автоматическое выравнивания образца нажатием одной кнопки
SpectraRay/3 программный пакет
Моторизованные столики для сканирования
Работа с пластинами до 200 мм и до 300 мм.

Применение: Измерение толщины и коэффициента преломления как единичных слоев так и многослойных пленок в производстве.

SENDORO® может применяться как в исследовательских целях так и в массовом производстве для измерения на подложках до 200 мм и до 300 мм.

Компания SENTECH также предлагает полностью автоматическую систему SENDURO® 300 с кассетной станцией для измерения на пластинах до 300 мм. Система позволяет измерять толщину пленок в диапазоне от нескольких ангстрем до 50 микрон. Установка оснащена роботом для загрузки пластин из кассеты в кассету.

Особенности


  • Высокая стабильность и точность при измерения
  • Высокая скорость измерения образцов
  • Измерение толщин пленок от 1 нм. до 10 000 нм. (ультра-тонкие пленки)
  • Измерение оптических характеристик пленок
  • Полностью автоматическое выравнивание образца при измерении
  • Измерения на прозрачных и поглощающих подложках
  • Управление нажатием кнопки
  • Удобное программное обеспечение SpectraRay/3
  • Минимальная подготовка для инсталляции прибора
  • Не требует высокой квалификации оператора
  • Полный пакет предустановленных применений в микроэлектронике, фотовольтаике (солнечные элементы) и др.
  • Дружественный интерфейс.
  • Высокая скорость измерений (менее 10 сек для полного спектра, более 500 длин волн)
  • Мощный пакет программного обеспечения SpectraRay/3 для спектроскопической эллипсометрии, позволяющий проводить измерение psi, delta,tan[psi], cos[delta], коэффициентов Фурье (S1, S2), интенсивности рассеяния света как зависимость от длины волны, угла падения. SpectraRay/3 обеспечивает получение данных, управление файлами, вывод в численном и/или графическом виде измеренных данных и спектров, анализ всех видов оптических спектральных функций, моделирование результатов и др. ПО включает в себя большую библиотеку оптических данных и готовых к использованию диэлектрических функций.

Описание SpectraRay 3 от производителя - SpectraRay/3.pdf

Опции:


- ч/б видеокамера и микроскоп для инспекции образца

- Моторизованные столики с компьютерным управлением для обрацов диаметром до 150 мм, до 200 мм и до 300 мм и перемещением с высокой точностью для меппинга (картирования). Опция меппинга (моторизованный столик для образцов с компъютерным управлением) и ПО позволяет анализировать однородность распределения толщины пленки на образце. Данные могут быть выведены как 2D- и 3D- изображение распределения толщины с полной статистикой.

- Рефлектометр FTPadv

ОПИСАНИЕ SEDURO В PDF
ОПИСАНИЕ SEDURO 300 В PDF

Характеристики



Модель SENDURO® SENDURO® 300
Длина волны  290-850 нм 290-850 нм.
Толщины измеряемых пленок от 1 нм до 50 мкм от 1 нм до 50 мкм
Гониометр стационарный, 70º стационарный, 70º
Выравнивание образца на столике Полностью автоматическая ситема выравнивания столика по углу наклона и высоте. Полностью автоматическая ситема выравнивания столика по углу наклона и высоте.
Размер пятна  1 х 1 мм2 (при угле падения 700)
1 х 1 мм2 (при угле падения 700)
Тольщина измеряемых образцов до 10 мм (или другое по запросу) до 10 мм (или другое по запросу)
Время измерения типичное 100 мс, при высокоточном измерении 5-10 с. типичное 100 мс, при высокоточном измерении 5-10 с.
Столик (ход по XY) 50x50 мм, 150х150 мм или 200x200 мм (по запросу). Стационарый или моторизованный 300x300 мм (по запросу). Стационарый или моторизованный

Похожая продукция


X
Запрос на оборудование
Заказать интересующее вас оборудование вы можете с помощью приведенной ниже формы.Специалисты ООО «ЭНЕРГОАВАНГАРД» свяжутся с вами в ближайшее время для уточнения вашего заказа и проконсультируют по всем интересующим вопросам.
ФИО *
Телефон *
Организация *
Какая продукция интересует?
Электронный адрес
Текст сообщения: *
Пройдите проверку:*