ООО «ЭНЕРГОАВАНГАРД»
комплексное оснащение предприятий

+ 7 495 564-82-37

info@eav.su
Отправить запрос на оборудование

Лазерный эллипсометр-рефлектометр CER SE 500adv


CER SE 500adv - уникальный комбинированный лазерный (сканирующий) эллипсометр-рефлектометр производства SENTECH Instruments GmbH (Германия) с возможностью проведения измерений пленок под различными углами разработан для высокоточного измерения толщины и оптических характеристик пленочных структур (коэффициент преломления, показатель поглащения) на различных типах поверхностей. Измерение нанопленок.

Длина волны эллипсометра - 632,8 нм
Диапазон длины волны рефлектометра - 450-920 нм.
Диапазон измерения толщины пленок с эллипсометром: 1 нм до 6000 нм.
Диапазон измерения толщины пленок с рефлектометром: 50 нм до 25000 нм.

Применение: Измерение толщины и коэффициента преломления единичных слоев или двухслойных пленок (с известными параметрами подслоя) в производстве или лаборатории и многослойных пленок с рефлектметом.

Особенности


  • Комбинированная система включающая лазерный эллипсометр и рефлектометр FTPadv с одном инструменте.
  • Расширенный диапазон измерения толщин пленок от 1 до 25000 нм.
  • Высокая стабильность и точность при измерении с источником света (HeNe лазер, 632,8 нм.), термостабилизированный компенсатор, управление поляризатором, детектор сверх низких шумов.
  • Высокая точность выравнивания образца (регулировка по высоте и углу наклона) с помощью автоколлиматического телескопа (АСТ).
  • Полностью интегрированная поддержка для многоугловых измерений с продвинутым программным обеспечением SENTECH.
  • Полный пакет предустановленных применений в микроэлектронике, фотовольтаике (солнечные элементы) и др.
  • Дружественный интерфейс и легкость работы.
  • Высокая скоростьизмерений
  • Программное обеспечение SENTECH для проведения эллипсометрических измерений, включающее в себя библиотеку приложений
n, k массивного материала

толщина монослоев

толщина и индекс преломления монослоев

толщина и индекс преломления верхнего слоя двойного слоя

заданные эллипсометрические приложения

Опции:


- 30 мкм микроспот (фокусировка пятна)

- Столик с ручной регулировкой x-y (перемещение - 150 мм) для картирования (mapping)

- Моторизованные столики с компьютерным управлением для обрацов диаметром до 200 мм и перемещением с высокой точностью для меппинга (картирования)

- Видеокамера для выравнивания образца взамен окуляра с выводом изображения и РС.

- Жидкостная ячейка

- Автофокусировка в комбинации с моторизованным столиком для выравнивания образцов

- Рефлектометр (Film Thickness Probe) FTPadv с диаметром пятна 80 мкм.

- ПО для иммитационного моделирования (SIMULATION Software)

- Установка для измерений пленок на кристаллическом кремнии (текстурированном)

ОПИСАНИЕ SE500ADV В PDF

Характеристики


Эллипсометр
Источник и длина волны  632,8 нм
HeNe лазер (< 1 мВт)
Точность измерения ψ и ∆:    0,002о , 0,002о
Точность измерения толщины пленки:  

 0,01 нм на 100 нм SiO2на Si

Точность измерения индекса преломления:  5х10-4 на 100 нм SiO2 наSi
Диапазон измерений для прозрачных пленок:  до 6000 нм
Диапазон измерений для слабоабсорбирующих слоев(полисиликон): до 2000 нм.
Время измерения 10 мс – 1с (зависит от режима измерений)
Диаметр светового пятна около 1 мм
Угол падения луча света Ручной гониометр 40 – 90о, шаг установки 5о
Выравнивание образца, фокусировка Автоколлиматический телескоп (АСТ)
Рефлектометр
Принцып действия Интерферренция белого света при нормальном угле падения
Спектральный диапазон 450-920 нм.
Время измерения 30-300 мс.
Диапазон измеряемых толщин 50 - 25000 нм.
Диамерт светового пятна 80 мкм


Похожая продукция


X
Запрос на оборудование
Заказать интересующее вас оборудование вы можете с помощью приведенной ниже формы.Специалисты ООО «ЭНЕРГОАВАНГАРД» свяжутся с вами в ближайшее время для уточнения вашего заказа и проконсультируют по всем интересующим вопросам.
ФИО *
Телефон *
Организация *
Какая продукция интересует?
Электронный адрес
Текст сообщения: *
Пройдите проверку:*