- Анализаторы химического состава металлов и сплавов
- Решения для 3D-печати и 3D-сканирования
- Вакуумное оборудование
- Водоподготовка
- Испытательное оборудование
- Коррозионное оборудование
- Оборудование для микроэлектроники
- Оборудование для лазерной маркировки изделий
- Оптическая и электронная микроскопия
- Перчаточные боксы
- Печи
- Гидравлические и механические прессы
- Технические газы
- Электронно-лучевая сварка
- Специальные предложения
- Главная
- Промышленное и лабораторное оборудование
- Оборудование для микроэлектроники
- Аналитическое оборудование и метрология
- Метрология тонких пленок SENTECH Instruments GmbH
Метрология тонких пленок SENTECH Instruments GmbH
SE 850 - спектроскопический УФ-ВИД-ИК (UV-VIS-NIR) эллипсометр производства SENTECH Instruments GmbH (Германия) с возможностью проведения измерений пленок под различными углами разработан для высокоточного измерения толщины и оптических характеристик как однослойных пленок, так и многослойных пленочных структур (коэффициент преломления, показатель поглащения) на различных типах поверхностей. Измерение нанопленок. Спектральный диапазон: 240 - 2500 (3500) нм
SE 800 - спектроскопический УФ-ВИД (UV-VIS) эллипсометр производства SENTECH Instruments GmbH (Германия) с возможностью проведения измерений пленок под различными углами разработан для высокоточного измерения толщины и оптических характеристик как однослойных пленок, так и многослойных пленочных структур (коэффициент преломления, показатель поглащения) на различных типах поверхностей. Измерение нанопленок. Спектральный диапазон: 380 (190) - 1000 (2500 или 3500) нм.
Спектроскопические (спетральные) рефлектометры моделей RM 1000 и RM 2000 производства SENTECH Instruments GmbH (Германия) для исследований и производства. Применяются для измерения прозрачных, плохо абсорбирующих пленок на отражающих, прозрачных и абсорбирующих образцах спектроскопическим методом, основанном на преломлении белого света. Измерене показателя преломления и толщины пленок на различных типах поверхностей. В том числе рутинные измерения в изготовлении изделий микроэлектроники (измерения толщины резистов, окислов и т.п)
Спектральный диапазон:
RM 1000: 430-930 нм.
RM 2000: 200 - 1000 нм.
Высокопроизводительная автоматическая эллипсометрическая измерительная система SENDURO® на базе УФ-ВИД спектроскопического эллипсометра с возможностью сканирования производства SENTECH Instruments GmbH (Германия) для проведения измерений толщины и оптичеких показателей тонких пленок в производстве.
Спектральный диапазон: от 290 до 850 нм
Полностью автоматическое выравнивания образца нажатием одной кнопки
SpectraRay/3 программный пакет
Моторизованные столики для сканирования
Работа с пластинами до 200 мм и до 300 мм.
SENDIRА - высокопроизводительная FT-IR (ИК-Фурье) эллипсометерическая cистема производства SENTECH Instruments GmbH (Германия) со спектральным диапазоном 400 см-1 – 6000 см-1 (1666–25000 нм.) и управляемым компьютером моторизованным гониометром для проведения измерений толщины и оптичеких показателей тонких пленок в ИК спектре.
Спектральный диапазон: от 1666 до 25000 нм
ИК-фурье спектрометр в качестве источника света.
ACT (автоколлиматический телескоп) для выравнивания образца
SpectraRay/3 программный пакет
Большое количество опций
SENpro - бюджетный спектроскопический УФ-ВИД (UV-VIS) эллипсометр производства SENTECH Instruments GmbH (Германия) с возможностью проведения измерений пленок под различными углами разработан для высокоточного измерения толщины и оптических характеристик как однослойных пленок, так и многослойных пленочных структур (коэффициент преломления, показатель поглащения) на различных типах поверхностей. Измерение нанопленок.
Спектральный диапазон: 370 - 1050 нм.
SpectraRay/3 программный пакет
CER SE 500adv - уникальный комбинированный лазерный (сканирующий) эллипсометр-рефлектометр производства SENTECH Instruments GmbH (Германия) с возможностью проведения измерений пленок под различными углами разработан для высокоточного измерения толщины и оптических характеристик пленочных структур (коэффициент преломления, показатель поглащения) на различных типах поверхностей. Измерение нанопленок.
Длина волны эллипсометра - 632,8 нм
Диапазон длины волны рефлектометра - 450-920 нм.
Диапазон измерения толщины пленок с эллипсометром: 1 нм до 6000 нм.
Диапазон измерения толщины пленок с рефлектометром: 50 нм до 25000 нм.
SE 400adv - новейший лазерный (сканирующий) эллипсометр производства SENTECH Instruments GmbH (Германия) с возможностью проведения измерений пленок под различными углами разработан для высокоточного измерения толщины и оптических характеристик пленочных структур (коэффициент преломления, показатель поглащения) на различных типах поверхностей. Измерение нанопленок.
Длина волны - 632,8 нм
Диапазон измерения толщины пленк: 1 нм до 6000 нм.