Метрология тонких пленок SENTECH Instruments GmbH

SE 850 - спектроскопический УФ-ВИД-ИК (UV-VIS-NIR) эллипсометр производства SENTECH Instruments GmbH (Германия) с возможностью проведения измерений пленок под различными углами разработан для высокоточного измерения толщины и оптических характеристик как однослойных пленок, так и многослойных пленочных структур (коэффициент преломления, показатель поглащения) на различных типах поверхностей. Измерение нанопленок. Спектральный диапазон: 240 - 2500 (3500) нм

SE 800 - спектроскопический УФ-ВИД (UV-VIS) эллипсометр производства SENTECH Instruments GmbH (Германия) с возможностью проведения измерений пленок под различными углами разработан для высокоточного измерения толщины и оптических характеристик как однослойных пленок, так и многослойных пленочных структур (коэффициент преломления, показатель поглащения) на различных типах поверхностей. Измерение нанопленок. Спектральный диапазон: 380 (190) - 1000 (2500 или 3500) нм.

Спектроскопические (спетральные) рефлектометры моделей RM 1000 и RM 2000 производства SENTECH Instruments GmbH (Германия) для исследований и производства. Применяются для измерения прозрачных, плохо абсорбирующих пленок на отражающих, прозрачных и абсорбирующих образцах спектроскопическим методом, основанном на преломлении белого света. Измерене показателя преломления и толщины пленок на различных типах поверхностей. В том числе рутинные измерения в изготовлении изделий микроэлектроники (измерения толщины резистов, окислов и т.п)

Спектральный диапазон:

RM 1000: 430-930 нм.

RM 2000: 200 - 1000 нм.

Высокопроизводительная автоматическая эллипсометрическая измерительная система SENDURO® на базе УФ-ВИД спектроскопического эллипсометра с возможностью сканирования производства SENTECH Instruments GmbH (Германия) для проведения измерений толщины и оптичеких показателей тонких пленок в производстве.

Спектральный диапазон: от 290 до 850 нм

Полностью автоматическое выравнивания образца нажатием одной кнопки

SpectraRay/3 программный пакет

Моторизованные столики для сканирования

Работа с пластинами до 200 мм и до 300 мм.

SENDIRА - высокопроизводительная FT-IR (ИК-Фурье) эллипсометерическая cистема производства SENTECH Instruments GmbH (Германия) со спектральным диапазоном 400 см-1 – 6000 см-1 (1666–25000 нм.) и управляемым компьютером моторизованным гониометром для проведения измерений толщины и оптичеких показателей тонких пленок в ИК спектре.

Спектральный диапазон: от 1666 до 25000 нм

ИК-фурье спектрометр в качестве источника света.

ACT (автоколлиматический телескоп) для выравнивания образца

SpectraRay/3 программный пакет

Большое количество опций

SENpro - бюджетный спектроскопический УФ-ВИД (UV-VIS) эллипсометр производства SENTECH Instruments GmbH (Германия) с возможностью проведения измерений пленок под различными углами разработан для высокоточного измерения толщины и оптических характеристик как однослойных пленок, так и многослойных пленочных структур (коэффициент преломления, показатель поглащения) на различных типах поверхностей. Измерение нанопленок.

Спектральный диапазон: 370 - 1050 нм.

SpectraRay/3 программный пакет

CER SE 500adv - уникальный комбинированный лазерный (сканирующий) эллипсометр-рефлектометр производства SENTECH Instruments GmbH (Германия) с возможностью проведения измерений пленок под различными углами разработан для высокоточного измерения толщины и оптических характеристик пленочных структур (коэффициент преломления, показатель поглащения) на различных типах поверхностей. Измерение нанопленок.

Длина волны эллипсометра - 632,8 нм

Диапазон длины волны рефлектометра - 450-920 нм.

Диапазон измерения толщины пленок с эллипсометром: 1 нм до 6000 нм.

Диапазон измерения толщины пленок с рефлектометром: 50 нм до 25000 нм.

SE 400adv - новейший лазерный (сканирующий) эллипсометр производства SENTECH Instruments GmbH (Германия) с возможностью проведения измерений пленок под различными углами разработан для высокоточного измерения толщины и оптических характеристик пленочных структур (коэффициент преломления, показатель поглащения) на различных типах поверхностей. Измерение нанопленок.

Длина волны - 632,8 нм

Диапазон измерения толщины пленк: 1 нм до 6000 нм.