ООО «ЭНЕРГОАВАНГАРД»
комплексное оснащение предприятий

+ 7 495 564-82-37

info@eav.su
Отправить запрос на оборудование

Контактная фотолитография

Контактная фотолитография представляет собой способ экспонирования, во время которого фотошаблон укладывается непосредственно на поверхность фоторезиста. Для того чтобы увеличить равномерность засветки возможно использовать так называемый вакуумный контакт, при котором между поверхностью пластины и фотошаблоном удаляется воздух перед их контактом. При помощи вакуумного контакта можно получить минимально возможную топологическую норму во время контактного экспонирования.


Сама суть процесса фотолитографии заключает в себе создание на поверхности изолирующей (или полупроводниковой) пластины защитного рельефа необходимой конфигурации, содержащего в себе множество рисунков элементов ИС. Комплекс технологических операций фотолитографии допускает применение групповых способов обработки, обеспечивая высокую производительность в общем.


Основные составляющие фотолитографии, которые определяют её уровень, являются фотошаблон, фоторезист и конкретная схема реализации технологического процесса, связанная с техническими параметрами применяемого оборудования.


Оборудование для контактной фотолитографии гораздо дешевле, делая его экономически выгодным для применения в лабораториях для осуществления опытно-конструкторских и научно-исследовательских работ в научных центрах, университетах и для небольших объемов производства. Что касается недостатков, то к ним можно отнести ухудшение качества изделий с повышением контактных циклов.


Установки экспонирования и совмещения похожи своей достаточно высоким качеством и небольшой ценой. Они дают возможность достигать точности совмещения 0,5 мкм и могут обладать антивибрационной системой. Поделить их можно на:

  • Ручные бюджетные установки (лабораторные центрифуги), являются идеальным вариантом для производства оптоэлектроники и применения в лабораториях;
  • Полуавтоматические являются отличным вариантом для flip chip устройств и ВЧ, и технологий нуждающихся в высокой точности совмещения.
  • Автоматические с более высокой производительностью, предусмотрены для производств.

Компания «ЭНЕРГОАВАНГАРД» специализируется на оптово-розничной продаже установок для контактной фотолитографии, включая лабораторные центрифуги от производителя, что позволяет купить качественное оборудование по доступной цене.

Нанесение фоторезиста, полиимидов, лаков, металло-органики, легирующих примесей, большинства органических веществ и жидкостей.

-    Размер подложек: до 12″;
-    Скорость вращения
100 - 6000 об/мин;
-    Сенсорный дисплей 8,4″
-    AC сервомотор.
-    20 рецептов по 10 шагов

Нанесение фоторезиста, полиимидов, лаков, металло-органики, легирующих примесей, большинства органических веществ и жидкостей.

-    Размер подложек : до 6″;
-    Скорость вращения
100 - 6000 об/мин;
-    Сенсорный дисплей 7″
-    BLDC мотор.
-    20 рецептов по 10 шагов

Нанесение фоторезиста, полиимидов, лаков, металло-органики, легирующих примесей, большинства органических веществ и жидкостей.
-    Размер подложек: до 4″;
-    Скорость вращения
100 - 6000 об/мин /
-    Сенсорный дисплей 5″
-    BLDC мотор.
-    20 рецептов по 10 шагов

-    Размер маски: до 7″ × 7″ / 14″ × 14″;
-    Размер подложек: до Ø 6″ /
-    Ø 12 ″;
-    УФ источник света: 350-2000 Вт;
-    Точность совмещения: 1 мкм

-    Размер маски: до 5″ × 5″ / 7″ × 7″;
-    Размер подложек: до Ø 100 мм / Ø 150 мм;
-    УФ источник света: 350 Вт / 500 Вт / 1000 Вт;
-    Точность совмещения: 1 мкм.

-    Размер маски: до 7″ × 7″;
-    Размер подложек: 4-6″;
-    УФ источник света: 350 Вт;


X
Запрос на оборудование
Заказать интересующее вас оборудование вы можете с помощью приведенной ниже формы.Специалисты ООО «ЭНЕРГОАВАНГАРД» свяжутся с вами в ближайшее время для уточнения вашего заказа и проконсультируют по всем интересующим вопросам.
ФИО *
Телефон *
Организация *
Какая продукция интересует?
Электронный адрес
Текст сообщения: *
Пройдите проверку:*