ООО «ЭНЕРГОАВАНГАРД»
комплексное оснащение предприятий

+ 7 495 564-82-37

info@eav.su
Отправить запрос на оборудование

Ионный имплантер IMX-3500


Диапазон энергии: от 30 до 200 кэВ (однозарядный ион)
Размер пластины: макс. ø150 мм (6 дюймов)
Система управления: Настройка пучка ионов, вручную.
Транспортировка пластин вручную.
Настройка вакуума, автоматическая.   

IMX-3500 – это усовершенствованная установка для ионной имплантации, работающая на токе средней частоты, обладающая преимуществами простоты эксплуатации и компактности. Установка была разработана на базе UP-150 для университетов, исследовательских учреждений и небольших производственных учреждений.
Источник ионов и блок ускорения луча обладают высокой надежностью и ремонтоспособностью, что было доказано большими продажами установок для ионной имплантации серии IDZ, работающих на токе средней частоты, производства компании ULVAC. Конечная станция состоит из компактной камеры пластинодержателя и камеры загрузочного шлюза, испытанных в UP-150. Системы, включая UP-150, использовались не только для полупроводников, но также для перспективных исследований, таких как изменение свойств поверхности.

Похожая продукция


X
Запрос на оборудование
Заказать интересующее вас оборудование вы можете с помощью приведенной ниже формы.Специалисты ООО «ЭНЕРГОАВАНГАРД» свяжутся с вами в ближайшее время для уточнения вашего заказа и проконсультируют по всем интересующим вопросам.
ФИО *
Телефон *
Организация *
Какая продукция интересует?
Электронный адрес
Текст сообщения: *
Пройдите проверку:*