ООО «ЭНЕРГОАВАНГАРД»
комплексное оснащение предприятий

+ 7 495 564-82-37

info@eav.su
Отправить запрос на оборудование

Горизонтальные промышленные установки групповой термической обработки пластин


Промышленные горизонтальные диффузионные печи для групповой термической обработки пластин для производства полупроводниковых приборов и солнечных элементов и производства компаний SVCS (Чехия):
SVCS (Чехия) - компания разработчик и производитель промышленных горизонтальных диффузионных печей для групповой обработки пластин для полупроводниковой промышленности и производства изделий фотовольтаики (производство солнечных элементов). Печи для атмосферной обработки и LPCVD и MOCVD процессов (химическое осаждение из паровой фазы при пониженном давлении).

Фирма «SVCS» была основана в 2000 году группой частных лиц, использующих долголетний опыт из разных областей деятельности – разработки и реализации систем управления, продажи ультрачистых компонентов и систем для распределения газа, разработки и производства точных механических систем и международной торговли.

В начале 21-го столетия стало уже общеизвестным фактом, что производство полупроводниковых приборов и интегральных микросхем покинуло родную Кремниевую Долину в Соединенных Штатах Америки, и стало появляться на раньше совершенно неожиданных местах. Аналогичный процесс логично произошел также у производственного оборудования. На основе многолетних разработок, производства и опыта работы с конечными потребителями, хотя и в совершенно различных экономических условиях, в условиях страны за железным занавесом, появляется на рынке самое современное технологическое оборудование, привлекательное для изготовителей полупроводников – ряд мощных печей SV-FUR для атмосферных и LPCVD и PECVD процессoв.

Атмосферные горизонтальные диффузионные печи SVFUR для применении в промышленном производстве полупроводниковых изделий SVaFUR-FP и пилотных производствах и R&D SVaFUR-RD. Системы разработаны на базе легко устанавливаемой, безопасной в использовании и надежной платформы горизонтальных печей. Печи SVCS разработаны для наиболее эффективного сохранения пространства на предприятиях в тоже самое время обеспечивая эффективную реализацию требуемых процессов.

Атмосферные процессы:


  • - пирогенное (мокрое, паровое) окисление;
  • - сухое окисление;
  • - прямая диффузия с твердого носителя, жидкого носителя или газовых источников:BBr3, B2H6, POCL3, PH3, BN
  • - окисление при повышенном давле-
  • нии (HiPOx);
  • - формовка, отжиг и спекание;
  • - предосаждение из газообразных,
  • - жидких и твердых источников.


diff_svcs1.jpg diff_svcs2.jpg
Особенности и преимущества:
Самая современная система контроля
Компоненты высшего качества всегда выбираются для достижения превосходных результатов на печах SVCS
До 4-ех реакторов (труб) из кварца или карбида кремния (SiC) для различных процессов
Продвинутая система охлаждения труб
Безконтактная полностью автоматическая система загрузки кантилеверного типа

Технические параметры:
Размер пластин: 50мм, 75мм, 100мм, 150мм, 200мм, 300мм или любой другой.
Загрузка пластин SVaFUR-FP: 150 и более пластин и SVaFUR-RD: 25 пластин (обычно)
Система нагрева 3 или 5 зонная SVaFUR-FP:до 1067мм (42") и SVaFUR-RD:до 300мм (12")
0.5°C равномерность температуры по длине
Температура от 200°C до 1300°C
Энергопотребление 95кВт – 165кВт в зависимости от конфигурации труб, 300мм: 3-фазы, 400 или 480ВА, 140 A, 50 60 Гц, 200мм: 3-фазы, 400 или 480ВА, 160A, 60гц (системы могут быть адаптированы под требование электрического подключения в любой стране)
сухой чистый воздух 70 – 110 psig (4,8 to 7,6 bar)
Водя для охлаждения: 40 - 60 LPM, Выхлоп 210m³/h на трубу
Опции: лифт для лодочек и автоматическая загрузка подающей лопатки

Брошюра - горизонтальные печи SVFUR для атмосферный и LPCVD процессов в pdf

LPCVD процессы:


  • - нитрид кремния;
  • - диоксид кремния;
  • - низкотемпературный оксид кремния (LTO);
  • - высокотемпературный оксид кремния (HTO);
  • - поликремний, с наклоном температуры или без наклона;
  • - процессы с применением TEOS.

svcs_lpcvd1.jpg
svcs_lpcvd2.jpg

Особенности и преимущества:
Самая современная система контроля
Компоненты высшего качества всегда выбираются для достижения превосходных результатов на печах SVCS
До 4-ех реакторов (труб) из кварца или карбида кремния (SiC) для различных процессов
Различные методы контроля вакуума, нагрева и охлаждения:
-дроссельная заслонка
-баланс N2
- контроль вакуумной откачки с преобразователем частоты
Интегрированная вакуумная система (самые продвинутые компании-производители вакуумных насосов)
Продвинутая система охлаждения труб
Бесконтактная полностью автоматическая система загрузки кантилеверного типа

Технические параметры:
Размер пластин: 50мм, 75мм, 100мм, 150мм, 200мм, 300мм или любой другой.
Загрузка пластин SVaFUR-FP: 100 и более пластин и SVaFUR-RD: 25 пластин (обычно)
Система нагрева 3 или 5 зонная SVaFUR-FP:до 1067мм (42") и SVaFUR-RD:до300 мм (12")
± 0.5°C равномерность температуры по длине
Температура от 200°C до 1200°C
Энергопотребление 80кВт – 150кВт в зависимости от конфигурации труб, 150мм: 3-фазы, 400 или 480ВА, 140 A, 50 60 Гц, 200мм: 3-фазы, 400 или 480ВА, 160A, 60гц (sситемы могут быть адаптированы под требование электрического подключения в любой стране)
сухой чистый воздух 70 – 110 psig (4,8 to 7,6 bar)
Водя для охлаждения: 40 - 60 LPM, Выхлоп 210m³/h на трубу
Опции: лифт для лодочек и автоматическая загрузка подающей лопатки

pecvd_schema.jpg

Брошюра - горизонтальные печи SVFUR для атмосферный и LPCVD процессов в pdf

X
Запрос на оборудование
Заказать интересующее вас оборудование вы можете с помощью приведенной ниже формы.Специалисты ООО «ЭНЕРГОАВАНГАРД» свяжутся с вами в ближайшее время для уточнения вашего заказа и проконсультируют по всем интересующим вопросам.
ФИО *
Телефон *
Организация *
Какая продукция интересует?
Электронный адрес
Текст сообщения: *
Пройдите проверку:*