ООО «ЭНЕРГОАВАНГАРД»
комплексное оснащение предприятий

+ 7 495 564-82-37

info@eav.su
Отправить запрос на оборудование

Установка элеткронно-лучевой литографии JEOL JBX-5500FS


JBX-5500FS – компактная система электронно-лучевой литографии, предназначенная для отработки технологий и малосерийного производства субмикронных и наноразмерных полупроводниковых устройств.  Система может работать с пластинами из различных материалов диаметром до 101,6 мм (4″) включительно, позволяет генерировать изображения с частотой 12 МГц и динамическим диапазоном 18 бит, обладает высокой надежностью и простотой управления.

Для удобства и быстроты работы, в JBX-5500FS реализовано 2 режима литографии: высокоскоростной (4-линзовый) и сверхвысокоразрешающий (5-тилинзовый).


Основные технические характеристики:


Форма пучка
круглое пятно
Сканирование
Векторное
Ускоряющее напряжение
25кВ / 50кВ
Ток пучка
30пА – 20нА
Минимальная ширина линии
не более 10нм
Минимальный диаметр пятна
не более 6 нм
Максимальный диаметр подложки
102,6 мм (4 дюйма)
Погрешность сшивки рабочих областей
не более 40нм
Максимальный размер области экспозиции
2мм * 2мм (4-линзовый режим, 25кВ)
0,2мм * 0,2мм (5-линзовый режим, 25кВ)

Другие системы электронно-лучевой литографии JEOL:


Электронная пушка
Ускоряющее наряжение
Минимальный размер пучка Размер пластин Форма пучка Развертка
JBX-3050MV LaB6 single crystal 50 кВ.

6 дюймов (маски) изменяемая Векторное сканирование
JBX-5500FS
ZrO/W
(типа Шотки)
50 кВ / 25 кВ 2 нм. пластины 100 мм пятно Векторное сканирование
JBX-6300FS ZrO/W (Schottky) 100 кВ / 50 кВ / 25 кВ 2 нм. пластины до 200 мм. пятно Векторное сканирование
JBX-9300FS ZrO/W (Schottky) 100 кВ / 50 кВ
4нм (100 кВ)
7нм (50 кВ)
пластины до 300 мм.
пятно Векторное сканирование

Похожая продукция


X
Запрос на оборудование
Заказать интересующее вас оборудование вы можете с помощью приведенной ниже формы.Специалисты ООО «ЭНЕРГОАВАНГАРД» свяжутся с вами в ближайшее время для уточнения вашего заказа и проконсультируют по всем интересующим вопросам.
ФИО *
Телефон *
Организация *
Какая продукция интересует?
Электронный адрес
Текст сообщения: *
Пройдите проверку:*