ООО «ЭНЕРГОАВАНГАРД»
комплексное оснащение предприятий

+ 7 495 564-82-37

info@eav.su
Отправить запрос на оборудование

Быстрые термические процессы - RTP

Установка Zenith 100

Компактная система для высокотемпературных термических процессов (High Temperature RTP и CVD) для обработки пластин диаметром до 4 дюймов (100 мм)

Применение:

Постимплантационный отжиг SiC

Получение графена высокотемпературной сублимацией SiC

Получение рафена CVD методом

Температурный диапазон: от RT до 2000°C

Загрузка: ручная

Установка AS-Premium

Компактная система для быстрых термических процессов (RTP) для обработки пластин размером до 8х8 дюймов (200 х 200 мм).

Применение:

быстрый термический отжиг (RTA),

быстрое термическое окисление (RTO)

Диффузия

Селенизация, сульфурация

Отжиг полупроводников

Нитритизация, силицидирование

Кристализация и уплотнение

Температурный диапазон: от RT до 1300°C

Верхнее расположение ламп или двухсторонний отжиг с верхним и нижним расположением ламп

Загрузка: ручная

Установка AS-Master

Универсальная система для быстрых термических процессов (RTP) для обработки пластин диаметром до 8 дюймов (200 мм.) с возможностью проведения процессов RTCVD (опция).

Применение:

быстрый термический отжиг (RTA),

быстрое термическое окисление (RTO)

RTCVD

послеимплантационный отжиг и др.

Температурный диапазон: от RT до 1500°C (в зависимости от версии печи)

Загрузка: ручная (опция: загрузка из кассеты в кассету)

Установка AS-One

Система для быстрых термических процессов с холодными стенками в исполнении для пластин диаметром до 4 дюймов (100 мм) и до 6 дюймов (150 мм)

Применение:

быстрый термический отжиг (RTA),

быстрое термическое окисление (RTO)

послеимплантационный отжиг и др.

Температурный диапазон: от RT до 1500°C (в зависимости от версии печи)

Загрузка: ручная

Установка AS-Micro

Система для использования пластин диаметром до 3 дюймов для использования в лабораториях. Версия с двумя камерами для перекрестного загрязнения (cross contamination).

Применение:

быстрый термический отжиг (RTA),

быстрое термическое окисление (RTO)

послеимплантационный отжиг и др.

Температурный диапазон: от RT до 1250°C

Загрузка: ручная


X
Запрос на оборудование
Заказать интересующее вас оборудование вы можете с помощью приведенной ниже формы.Специалисты ООО «ЭНЕРГОАВАНГАРД» свяжутся с вами в ближайшее время для уточнения вашего заказа и проконсультируют по всем интересующим вопросам.
ФИО *
Телефон *
Организация *
Какая продукция интересует?
Электронный адрес
Текст сообщения: *
Пройдите проверку:*