ООО «ЭНЕРГОАВАНГАРД»
комплексное оснащение предприятий

+ 7 495 564-82-37

info@eav.su
Отправить запрос на оборудование

Безмасковая лазерная литография

Установки безмасковой лазерной литографии VPG 200/ VPG 400

Предназначена для работы с фотошаблонами при больших объемах производства. Увеличена скорость письма по сравнению с DWL 66+ и DWL 200/DWL 4000.

Предназначена для задач производств крупных серий. Формирования топологических структур на металлизированных фотошаблонах при производстве интегральных схем, гибридных интегральных схем, а также для формирования структур на пластине, при производстве МЭМС, БиоМЭМС, интегрированной оптики, дисплеи.

Установка безмасковой лазерной литографии DWL 2000/ DWL 4000

Предназначен для работы с фотошаблонами при больших объемах производства. Увеличена скорость письма по сравнению с DWL 66FS.

Предназначена для задач производств крупных серий. Формирования топологических структур на металлизированных фотошаблонах при производстве интегральных схем, гибридных интегральных схем, а также для формирования структур на пластине, при производстве МЭМС, БиоМЭМС, интегрированной оптики и др.

Минимальный топологический размер 0,6 мкм. Размер шаблонов до 200 х 200 мм и до 400 х 400 мм соответственно, пластин до 200 мм и до 400 мм сообветственно. Размер адресной сетки до 5 нм. Скорость письма от 29 до 340 мм2/мин в зависимости от выбора пишущей линзы.

Установка безмасковой лазерной литографии DWL 66+

Система безмасковой лазерной литографии DWL 66+ предназначена для задач НИОКР, мелкой серии, опытное производство. Формирования топологических структур на металлизированных фотошаблонах при производстве интегральных схем, гибридных интегральных схем, а также для формирования структур на пластине, при производстве МЭМС, БиоМЭМС, интегрированной оптики и др.

Минимальный топологический размер 0,6 мкм. Размер шаблонов до 200 х 200 мм, пластин до 200 мм. Размер адресной сетки до 10 нм.

Скорость письма от 6 до 1000 мм2/мин в зависимости от выбора пишущей линзы.

Настольная установка безмасковой лазерной литографии mPG 101

Настольная модель лазерной безмасковой литографии. Предназначена для решения задач, не требующих высокой производительности - лабораторные исследования, НИОКР, опытное производство и др.

Минимальный топологический размер 0,9 мкм. Сменные пишущие головки на 0,9 мкм, 2,5 мкм, 5,0 мкм. Размер шаблонов или пластин до 6 х 6 дюймов. Область экспонирования до 125 х 125 мм.

Размер адресной сетки до 40 нм.

Растровое (бинарное) экспонирование, векторное экспонирование (Vector Exposure Mode) и 3D экспонирование для режима полутоновой шкалы экспонирования (Basic Gray Scale Exposure Mode).

Скорость письма от 5 до 90 мм2/мин в зависимости от выбора пишущей линзы.


X
Запрос на оборудование
Заказать интересующее вас оборудование вы можете с помощью приведенной ниже формы.Специалисты ООО «ЭНЕРГОАВАНГАРД» свяжутся с вами в ближайшее время для уточнения вашего заказа и проконсультируют по всем интересующим вопросам.
ФИО *
Телефон *
Организация *
Какая продукция интересует?
Электронный адрес
Текст сообщения: *
Пройдите проверку:*