ООО «ЭНЕРГОАВАНГАРД»
комплексное оснащение предприятий

+ 7 495 564-82-37

info@eav.su
Отправить запрос на оборудование

Электронно-зондовый микроанализатор JXA-8230 Superprobe


JXA-8230 - электронно-зондовый микроанализатор (EPMA) для исследования поверхности производства компании JEOL (Япония)
JEOL Ltd. - мировой лидер в производстве и разработке сканирующих (растровых) электронных микроскопов (РЭМ), просвечивающих электронных микроскопов (ПЭМ), анализаторов поверхности (ОЖЕ микроанализаторы, фотоэлектронные спектрометры, электронно-зондовые микроанализаторы EPMA), системы с фокусированным ионным пучком, масс-спектрометров, спектрометров ядерного магнитного резонанса (ЯМР) и систем электронно-лучевой литографии для производства полупроводниковых приборов.

Электронно-зондовый микроанализатор JXA-8230 Superprobe
Новейшая модель электронно-зондового микроанализатора (микрозонда) JEOL JXA-8230, пятое поколение Суперпроба, является логическим продолжением линейки приборов данного класса JEOL JXA-8100 и JXA-8200 и обладает, по сравнению с ними, рядом новшеств и преимуществ.
Разработчики JEOL работают в тесном сотрудничестве с исследователями, учитывая их рекомендации и пожелания. В итоге такого сотрудничества был создан прибор, сочетающий наилучшие характеристики, широчайшие возможности и простоту управления. Микрозонд предназначен, в первую очередь, для локального количественного анализа большого количества образцов в диапазоне элементов от бериллия до урана, построения карт распределения элементов по площади, вдоль профиля и т.д. Предел обнаружения для большинства элементов составляет не хуже 10ppm, в зависимости от применяемых стандартов, способа пробоподготовки и методик измерения.
Электронно-оптическая система с мощной системой стабилизации, от 1 до 5 волновых спектрометров плюс один энергодисперсионный, большой выбор программного обеспечения, высокоточный гониометрический столик с моторизованным приводом, – все это позволяет оператору днем только намечать точки для анализа.
Микрозонд проанализирует все в автоматическом режиме. В отличие от приборов предыдущих поколений, новые модели позволяют получать не только анализы, но и изображения высокого качества во вторичных и отраженных электронах, картины катодолюминесценции и картины дифракции отраженных электронов.
· Простое управление прибором с помощью PC, все основные функции микрозонда автоматизированы
· Новые спектрометры с большими кристалл-анализаторами имеют более высокую чувствительность при анализе примесей. Что важно, при этом повышается скорость счета без ущерба для энергетического разрешения и отношения пик/фон.
· Высокое качество спектрометров и кристалл-анализаторов позволяет проводить анализ химического состояния элемента, благодаря эффекту сдвига пиков в зависимости от того, в каком химическом соединении находится анализируемый элемент (т.н. явление химсдвига) и тонкую структуру спектров.
· Большой выбор спектрометров и кристалл-анализаторов (в том числе, более высокая точность при количественном анализе легких элементов).
· Минимальный шаг перемещения столика составляет 0,2 мкм (опция, в стандартном варианте 0.5 мкм).
· Оптический микроскоп с цветной телекамерой позволяет наблюдать реальные цвета различных участков образца в оптическом диапазоне (увеличение до 400х).
· Изображения в отраженных и вторичных электронах с увеличением от 40х до 300 000х.
· Программное обеспечение для элементного и фазового картирования, количественного анализа методами ZAF, Phi-Rho-Z и Бенса-Олби, анализа частиц, тонких пленок, построения фазовых диаграмм тройных систем и для картирования состава криволинейных поверхностей.
· Система автофокусировки (опция).

Основные технические характеристики JXA-8230:


Диапазон анализируемых элементов
от 4(Ве) до 92(U)
Диапазон длин волн
от 0,087 до 9,3 нм
Количество волновых спектрометров
от 1 до 5
Энергодисперсионный спектрометр
1 (встроена безазотная система ЭД микроанализа)
Диапазон перемещения столика образцов
по оси X и Y: 100 мм, 100 мм
Точность позиционирования образца
0,5 мкм
Максимальный размер образца
100 мм х 100 мм х 50 мм (В)
Анализируемая область
90 мм х 90 мм
Скорость сканирования столиком образцов
15 мм/сек
Ускоряющее напряжение
От 1 до 30кВ (с шагом 0,1кВ)
Ток зонда
от 10-12А до 10-5А
Минимальный диаметр зонда
40нм (10кВ, 10-8А) 100нм (10кВ, 10-7А)
Разрешение во вторичных электронах
6 нм (для W катода) и 5нм для LaB6, при 30кВ, на рабочем отрезке 11мм
Изображение в отражённых электронах
топографический и композиционный контраст
Увеличение в режиме сканирования
от 40 до 300 000х

 Основой прибора, на которой собирается весь прибор, является камера образцов с прецизионным гониометром, причем перемещение по осям X Y Z осуществляется мощными шаговыми двигателями, обладающими весьма большим ресурсом. Минимальный шаг перемещения составляет 0,2 мкм (опция, в стандартном исполнении – 0.5 мкм). Такой гониометр необходим для получения карт распределения элементов путем механического сканирования столика по растру относительно неподвижного электронного зонда. Это необходимо потому, что все волнодисперсионные спектрометры (ВДС) имеют вертикальную конфигурацию и очень малую область, из которой они могут регистрировать характеристическое рентгеновское излучение. Поэтому сканирование электронным зондом при работе с ВДС невозможно. Наличие механического сканирования и накладывает весьма жесткие требования к точности позиционирования и ресурсу гониометра со столиком образцов, поскольку построение одной карты распределения занимает от нескольких минут до нескольких десятков минут ( в зависимости от условий измерения, шага сканирования, размера области сканирования и пр.).

Для того, чтобы при механическом сканировании образца можно было регистрировать сразу несколько элементов, необходимо наличие нескольких волновых спектрометров (т.н. каналов) – от 2 до 5. Кроме того, имеется встроенный энергодисперсионный спектрометр, который расширяет число каналов до 13. Таким образом, из каждой точки образца одновременно можно получить информацию от 1 до 13 (в зависимости от модели прибора и числа волновых каналов) элементов.

Другими важными составными частями микроанализатора являются электронно-оптическая колонна, формирующая очень стабильный по току и положению электронный зонд, оптический микроскоп с рефракционной параболической оптикой, коаксиальный и конфокальный с электронным зондом, оборудованный цветной телекамерой, волновые спектрометры, каждый из которых имеет от 2 до 4 кристалл-анализаторов, а также система управления и обработки информации на базе персонального компьютера и рабочей станции (последняя обрабатывает всю информацию, управляет перемещением образца при анализе, и пр.).

Оптический микроскоп позволяет визуализировать образцы с увеличением до х400 в оптическом диапазоне и наблюдать реальные цвета различных участков образца (поскольку изображение во вторичных электронах не несет информации о цвете).

Одной из самых важнейших характеристик является стабильность электронного зонда по положению и току. Стабильность по току обеспечивает точность микроанализа и составляет полторы десятых доли процента в течение одного часа. Это необходимо, поскольку при работе волновых спектрометров спектр накапливается последовательно, и колебания тока могут привести к такой же неточности при расчете концентрации элементов. В обычных растровых электронных микроскопах с аналитическим приставками таких жестких требований на электронный зонд не накладывается, поэтому на них нельзя получить точных данных микроанализа.

Последней по порядку, но не по важности составной частью является программное обеспечение. Микроанализаторы Суперпроб фирмы JEOL оснащаются самым широким спектром программного обеспечения для всех пользователей и всех областей применения. В программы входят программы для элементного и фазового картирования, количественного анализа методами ZAF, фи-ро-зет и Бенса-Альби, программное обеспечение для построения фазовых диаграмм тройных систем и различные программы для картирования состава криволинейных поверхностей.

Последняя программа является новейшей разработкой, и позволяет, благодаря коррекции положения точки анализа на криволинейной поверхности по оси Z (по вертикали), например, получать карты распределения элементов на поверхности сферической формы. Ранее для микроанализа использовались только образцы с плоскими шлифами.

Только в моделях Суперпроб имеется большой выбор спектрометров. Так, имеются спектрометры на 2 и 4 кристалла (последние используются, как правило, в конфигурациях с количеством спектрометров от 1 до 3-4), а также спектрометра H-типа (H от слова High – высокий), имеющие повышенную чувствительность к микропримесям в образцах. Благодаря таким уникальным особенностям конструкции, микроанализаторы Суперпроб используются в самых современных исследовательских центрах, институтах и промышленных компаниях во всем мире.


Основные особенности и преимущества микроанализатора JXA-8230:

- По сравнению с моделью JXA-8200 микроанализатор JXA-8230 отличается тем, что спектрометрическая часть управляется от IBM-совместимого компьютера, так же, как и система управления микроскопом. Т.е. имеется 2 монитора, которые позволяют удобно работать с информацией и управлять прибором с помощью одной мыши.

- Прибор стал более компактным, т.е. минимальные габариты помещения составляют 3,5 х 4,0 м.

- Изображение с телекамеры передается на общий монитор. Теперь можно наблюдать даже тонкие шлифы в проходящем свете, а затем исследовать те фазы, которые наблюдаются в цвете в оптическом микроскопе, в режиме микроанализа. Затем можно сопоставлять карты распределения элементов с изображениями фаз на шлифах в оптическом микроскопе.

Полное картирование элементного и фазового состава. При этом на диаграммах состояний (тройных фазовых диаграммах) можно выделять интересующую фазу, затем картировать эту фазу в виде карты распределения.

- Компания JEOL разработала новый волновой спектрометр L-типа с большим радиусом круга Роуланда. Этот спектрометр включает в себя кристаллы PETL (для разрешения следовых концентраций элементов с перекрывающимися пиками, например таких, как Pb-U-Th) и LIFL (полезен для разрешения небольших пиков таких, как пики редкоземельных элементов.

- JEOL разработал программу картирования возраста пород. ВОЗМОЖНО ПОСТРОЕНИЕ ИЗОХРОН ПРЯМО НА ИЗОБРАЖЕНИИ МИНЕРАЛОВ (при анализе монацита по соотношению Pb-U-Th). Другие производители не имеют аналогов такой программы.

- Новый прибор включает в себя безазотный энергодисперсионный детектор с кремний-дрейфовым кристаллом, который позволяет работать с большой скоростью счета (не аттенюируя кристалл ЭДС детектора), осуществляя ЭДС анализ вместе с ВДС анализом. Новый ЭДС детектор позволяет осуществлять быстрый предварительный анализ, получать карты распределения фаз и элементов (не в следовых концентрациях и с неперекрывающимися пиками), а также виртуально увеличивать число каналов до 15 при картировании распределений элементов при механическом сканировании столиком образцов.

- Прибор имеет современный WINDOWS интерфейс оператора, легко осваивается молодыми специалистами, имеющими опыт работы с персональными компьютерами. Вместе с тем его отличает высокая надежность, свойственная всем приборам JEOL

- Высокое разрешение спектрометров позволяет определять не только пики чистых элементов, но также различать химическое состояние элементов, т.е. например, картировать распределения не только, например, цинка, но и цинка в соединении ZnS.

- Прибор отличается максимальной стабильностью и воспроизводимостью и является эталонным прибором для микроанализа. Чувствительность при анализе некоторых элементов может составлять десятки ppm, а в случае мелкодисперсных месторождений - определять частицы минералов (напр. горнорудного золота в кварце) размерами от 0,5 до 1 мкм. Также возможна статистическая обработка путем анализа и классификации всех обнаруженных зерен (particle analysis software).

- Многооконный интерфейс позволяет работать в многозадачном режиме и представлять результаты в самом удобном и подробном виде, что повышает наглядность результатов и эффект от их изучения. Также можно сразу готовить презентации по полученным результатам для докладов на совещаниях, семинарах и конференциях.

Похожая продукция


X
Запрос на оборудование
Заказать интересующее вас оборудование вы можете с помощью приведенной ниже формы.Специалисты ООО «ЭНЕРГОАВАНГАРД» свяжутся с вами в ближайшее время для уточнения вашего заказа и проконсультируют по всем интересующим вопросам.
ФИО *
Телефон *
Организация *
Какая продукция интересует?
Электронный адрес
Текст сообщения: *
Пройдите проверку:*